초록 ▼

본 연구에서는 클린룸의 풍량과 풍속에 따른 grating panel의 개공율이 클린룸의 유동특성에 미치는 영향을 평가하기 위해서 클린룸의 풍속을 0.25∼0.55m/s까지 변화시키면서 개공율이 0.446인 시제품을 비롯하여 0.4, 0.5, 0.6인 아크릴 panel에 대하여 풍속분포와 압력 분포를 측정하여 기류 특성을 분석하였다. 연구 결과 panel의 개공율과 구조에 따라 클린룸내의 압력분포에 많은 영향을 주게 되며 일정 개공율에 대해서는 풍속이 0.3m/s를 전후하여 풍속의 균일도가 가장 높음을 알수 있었고 개공율이 높으면 풍

본 연구에서는 클린룸의 풍량과 풍속에 따른 grating panel의 개공율이 클린룸의 유동특성에 미치는 영향을 평가하기 위해서 클린룸의 풍속을 0.25∼0.55m/s까지 변화시키면서 개공율이 0.446인 시제품을 비롯하여 0.4, 0.5, 0.6인 아크릴 panel에 대하여 풍속분포와 압력 분포를 측정하여 기류 특성을 분석하였다. 연구 결과 panel의 개공율과 구조에 따라 클린룸내의 압력분포에 많은 영향을 주게 되며 일정 개공율에 대해서는 풍속이 0.3m/s를 전후하여 풍속의 균일도가 가장 높음을 알수 있었고 개공율이 높으면 풍속의 균일도가 떨어짐을 알 수 있었다.

Abstract ▼

In this study, we analyzed the characteristic of the clean room flow field. To estimate the effects of the grating panel, we measured the distribution of velocity and pressure in the clean room by the change of the velocity from 0.25m/s to 0.55m/s and the porocity 0.4, 0.446, 0.5 and 0.6. The study

In this study, we analyzed the characteristic of the clean room flow field. To estimate the effects of the grating panel, we measured the distribution of velocity and pressure in the clean room by the change of the velocity from 0.25m/s to 0.55m/s and the porocity 0.4, 0.446, 0.5 and 0.6. The study shows the results that the procity and structure of the panel affects significant effect on the pressure distribution of the clean room, and the uniformity of the velocity is maximum to the same structure of the panel when the mean velocity of the clean room is near 0.3m/s, and the velocity uniformity is in inverse proportion to the porocity.

목차 Contents

• 제 1 절 연구 개요...9
• 1. 연구 배경...9
• 2. 연구 방향...11
• 제 2 절 실험 시스템...12
• 1. 실험 장치...12
• 2. 측정 시스템과 측정 위치...21
• 제 3 절 실험 방법 및 자료 처리...27
• 1. 풍속 분포의 측정...27
• 2. 압력 분포의 측정...28
• 제 4 절 실험 결과 및 고찰...29
• 1. 초청정 공간의 풍속 분포 특성...29
• 2. 초청정 공간 및 하부 플레넘의 압력 분포 특성...48
• 3. Grating panel의 압력 손실 특성...53
• 4. 결론...56