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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 박희재 |
참여연구자 | 이일환 , 안우정 , 이동성 , 문준희 , 신현장 , 정은희 , 조성환 , 김현성 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2001-11 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 서울대학교 Seoul National University |
등록번호 | TRKO200300000572 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
- BGA 반도체 측정용 현미경 광학계 구성 기술BGA 측정을 위한 광학계 설계를 수행하였으며, Field of view는
2.5x2.5mm로 구성하였다
- BGA 반도체 측정 및 평가 기술BGA 2차원/3차원 형상 측정 기술 개발을 수행하였으며, 2차원 형상 정밀도 lum, 3차
원 형상측정 가능 범위 1mm 이상을 구현하였다
- BGA 반도체 측정용 통합시스템 구성 기술광학계, 이송부, 운용 소프트웨어를 포함한 BGA 반도체 측정용 통합시스
템을 구축하였다
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