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MR 소자를 이용한 전류·전압센서 개발
Development of Magnetoresistive Current·Voltage Sensor 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2002-06
주관부처 과학기술부
Ministry of Science and Technology
등록번호 TRKO200300002349
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 자기저항.직선성.반강자성층.전류측정센서.휘스톤브릿지.magnetoresistance.linearity.Antiferromagnetic layer.current sensor.Wheatstone bridge.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO200300002349

초록

본 연구에 사용된 반강자성 결합에 의한 이층 박막의 자기저항소자에서 저항변화율이 일반적으로 알려진 2%를 상회하는 값을 얻었다. 박막제조에는 RF 및 DC sputter 방법을 사용하였으며, 증착압력과 power등의 적절한 조합 및 in-situ magnetic field 인가에 의한 박막 제조방법과 더불어, 박막 제조 후 다양한 열처리 방법에 따른 자기저항 변화거동을 조사하였다.
MR소자 제조시 반강자성층을 도입함으로써 외부자기장과 자성박막의 easy axis 방향과 인가되는 전류 방향간의 임의의 각을 갖도록 함으로써 직선성

Abstract

목차 Contents

  • 제 1 장 서론 ... 18
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 26
  • 제 3 장 연구개발 수행내용 및 결과 ... 28
  • 제1절 MR 박막의 직류 교류 특성 ... 28
  • 1. 서 론 ... 28
  • 2. 자기저항 특성 ... 28
  • 가. 자기저항 ... 28
  • 나. 이방성 자기저항 ... 31
  • 다. 홀 효과 ... 32
  • 라. 단자구 모델 ... 33
  • 3. 자기센서 응용 ... 35
  • 가. 센서의 정의 및 종류 ... 35
  • 나. 자기센서 ... 36
  • 4. 자기저항 소자와 전력계 ... 40
  • 5. NiO/NiFe 자성박막의 특성 ... 41
  • 가. 3-단자 센서의 저항 측정 원리 ... 42
  • 나. 실험방법 ... 45
  • 6. 결과 및 고찰 ... 48
  • 가. φ에 따른 자기저항 곡선 변화 ... 48
  • 나. 보조전류에 따른 자기저항 곡선 변화 ... 54
  • 다. 보조전류에 따른 base 전압 변화 ... 54
  • 라. 보조전류에 따른 $θ_m$ 변화 ... 60
  • 마. 보조전류에 따른 ΔV 및 $V_s$ 변화 ... 60
  • 바. 온도의존성 ... 60
  • 사. 교류자기특성 ... 70
  • 7. 결론 ... 94
  • 8. 참고문헌 ... 96
  • 제2절 MR 박막의 제조 및 특성 ... 97
  • 1. 서 론 ... 97
  • 2. 실험 방법 ... 97
  • 가. 박막 제조 ... 97
  • 나. 특성 측정 및 분석 ... 98
  • 3. 결과 및 고찰 ... 101
  • 가. 박막의 구조 ... 101
  • 나. 박막의 표면형상 분석 ... 107
  • 다. 자기적 특성 ... 112
  • 라. 자기저항 특성 ... 117
  • 4. 결론 ... 122
  • 5. 참고문헌 ... 123
  • 제3절 세라믹 CMR 재료 연구 ... 125
  • 1. 서 론 ... 125
  • 2. 이론적 배경 ... 126
  • 가. CMR의 정의 및 역사 ... 126
  • 나. CMR 재료의 연구 동향 ... 128
  • 다. $La_{1-x}Ca_xMnO_3$의 특성 ... 130
  • 3. 연구 내용 ... 138
  • 가. 고상반응법에 의한 분말 합성 ... 138
  • 나. GNP 법에 의한 분말 합성 ... 147
  • 다. $La_{1-x}Ca_xMnO_3$의 박막화 및 소자 제조 ... 156
  • 4. 종합 결론 ... 160
  • 5. 참고 문헌 ... 161
  • 제4절 센서소자제작 및 특성평가 ... 164
  • 1. 서 론 ... 164
  • 2. 실험 방법 ... 164
  • 가. 박막 제조 ... 164
  • 나. 소자 설계 ... 165
  • 다. 소자의 제작 ... 170
  • 3. 실험 결과 ... 171
  • 4. 결론 ... 175
  • 5. 참고문헌 ... 176
  • 제 4 장 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 178
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 180
  • 첨부 1. 특정연구개발사업 연구결과 활용계획서 ... 184

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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