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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국화학연구원 Korea Research Institute of Chemical Technology |
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연구책임자 | 김윤수 |
참여연구자 | 김창균 , 이영국 , 정택모 , 안기석 , 이선숙 , 김진권 , 이성용 , 임종태 , 양용석 , 김두현 , 김병수 , 김철의 , 나은주 , 성기환 , 오영우 , 유승호 , 이강무 , 이선영 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2001-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국화학연구원 Korea Research Institute of Chemical Technology |
등록번호 | TRKO200300002699 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
본 연구 개발의 내용은 여러 가지의 금속 유기물 선구 물질을 설계하여 합성하고 이들을 화학 증착 박막의 제조, 나노입자의 제조 및 분자 박막의 제조에 사용함으로써 선구 물질의 유용성을 확인하고 선구 물질 화학 기술을 확립하는 것이다. 이를 위하여 다음과 같이 연구 범위를 정하였다.· 산화물, 질화물, 복합 산화물 박막의 단위체 단일 선구 물질의 설계 및 합성· 산화물, 질화물 박막의 적층 성장· 단일 선구 물질들을 사용한 나노입자 및 나노구조체의 제조
The content of this research concerns the design and synthesis of various metal organic precursors and their application to preparation of chemically vapor deposited thin films, nanoparticles, and molecular thin films. It is proposed to ascertain the usefulness of precursors and establish the techni
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