초록

본 연구 개발의 내용은 여러 가지의 금속 유기물 선구 물질을 설계하여 합성하고 이들을 화학 증착 박막의 제조, 나노입자의 제조 및 분자 박막의 제조에 사용함으로써 선구 물질의 유용성을 확인하고 선구 물질 화학 기술을 확립하는 것이다. 이를 위하여 다음과 같이 연구 범위를 정하였다.· 산화물, 질화물, 복합 산화물 박막의 단위체 단일 선구 물질의 설계 및 합성· 산화물, 질화물 박막의 적층 성장· 단일 선구 물질들을 사용한 나노입자 및 나노구조체의 제조

Abstract ▼

The content of this research concerns the design and synthesis of various metal organic precursors and their application to preparation of chemically vapor deposited thin films, nanoparticles, and molecular thin films. It is proposed to ascertain the usefulness of precursors and establish the techni

The content of this research concerns the design and synthesis of various metal organic precursors and their application to preparation of chemically vapor deposited thin films, nanoparticles, and molecular thin films. It is proposed to ascertain the usefulness of precursors and establish the technique of precursor chemistry. For this purpose, the scope of this research has been determined as follows.· Design and synthesis of monomeric single precursors for thin films of oxides, nitrides, and complex oxides· Epitaxial growth of thin films of oxides and nitrides· Preparation of nanoparticles and nanostructures using single precursors

목차 Contents

• 제 1 장 서론...11
• 제 1 절 선구 물질 화학 기술...11
• 1. 선구 물질 화학 기술의 기본 개념...11
• 2. 박막 제조에서의 완충층의 역할...11
• 제 2 절 박막 및 나노물질의 제조와 특성 평가...12
• 1. 화학 증착법에 의한 박막의 제조...12
• 2. 나노물질의 제조...12
• 3. 선구 물질, 박막 및 나노물질의 특성 평가 (characterization)...13
• 제 2 장 국내외 기술 개발 현황...14
• 제 1 절 국내의 기술 개발...14
• 제 2 절 국외의 기술 개발...15
• 제 3 장 연구 개발 수행 및 결과...18
• 제 1 절 산화마그네슘 및 질화갈륨 박막의 Si(001) 기질에서의 적층 성장...18
• 1. 산화마그네슘 박막의 Si(001) 기질에서의 적층 성장...18
• 2. 입방형 질화갈륨 박막의 Si(001) 기질에서의 적층 성장...30
• 제 2 절 13족 금속을 포함하는 이종 유기금속 화합물의 합성 및 응용...33
• 1. 서론...33
• 2. 실험...33
• 3. 결과 및 논의...38
• 4. 결론...39
• 5. 참고 문헌...47
• 제 3 절 산화물 나노입자 선구 물질의 합성과 나노입자의 제조...47
• 1. 서론...47
• 2. 실험...49
• 3. 결과 및 논의...51
• 4. 결론...53
• 5. 참고 문헌...56
• 제 4 절 단일 선구 물질을 이용한 이종 금속 산화물을 포함하는 중다공성 물질의 제조...56
• 1. 서론...56
• 2. 실험...57
• 3. 결과 및 논의...60
• 4. 결론...61
• 5. 참고 문헌...65
• 제 4 장 연구 개발 목표 달성도 및 대외 기여도...66
• 제 1 절 연구 개발 목표와 달성 내용...66
• 제 2 절 연구 개발 성과...67
• 1. 논문 게재...67
• 2. Proceedings 논문 게재...68
• 3. 특허 출원 및 등록...69
• 제 5 장 연구 개발 결과의 활용 계획...71
• 제 1 절 물성이 더욱 개량된 단위체 단일 선구 물질의 개발...71
• 1. 단위체 단일 선구 물질...71
• 2. 화학 증착 공정을 위한 단일 선구 물질의 상업화...71
• 제 2 절 금속 유기물 화학 증착 및 원자층 침착을 위한 단일 선구 물질의 개발...71
• 1. 이산화티타늄선구물질의 구조의 활용...71
• 2. 기체상에서의 열분해에 의한 복합 산화물 나노입자의 제조...72
• 3. 단일 선구 물질의 실리콘 표면에서의 흡착...72