$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

테라급나노소자개발사업;MRAM용 MR 소자/소재 및 단위공정 개발
Tera Level Nano Devices;Development of MR Materials/Devices & Unit Process for MRAM 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 신경호
참여연구자 임상호 , 김희중 , 한석희 , 이전국 , 이우영 , 박영준 , 이제형 , 이경일 , 김경숙 , 엄영랑 , 전경인 , 전민홍 , 신일재 , 박상용 , 성유빈 , 이동현
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-08
과제시작연도 2002
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200300003789
과제고유번호 1350007106
사업명 21C 프론티어연구개발사업
DB 구축일자 2015-01-08
키워드 자기터널접합.MRAM.급속열처리.스윗칭필드.키퍼층.Magnetic Tunnel Junction.MRAM.RTA.Switching field.Keeper layer.

초록 ▼

○ MRAM용 Sub-Micron NR 접합소자 기술 개발
- 0.05 ㎛² 급 MR 전합 공정 기술 확보
- 0.02 ㎛² 크기의 나노셀을 만들어 MTJ로서 완벽히 작동하는 것을 확인
- MTJ 특성 최적화에 필요한 ′자기적 전달수송 원리′에 대한 기본 개념 제안
- MTJ의 파괴 mechanism 규명
○ Micromagnetic simulation에 의한 MRAM 소자 설계기술 개발
- 자기접합의 모양과 크기에 따른 자성박막의 보자력과 바이어스 자장의 의존도 연구
- 자기헤드의 작동원리를

목차 Contents

  • 제 1 장 연구개발과제의 개요...27
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황...33
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...37
  • 제 1 절 Micromagnetic simulation을 이용한 MRAM 설계기술...37
  • 제 2 절 터널배리어 제조기술...84
  • 제 3 절 자기터널접합 특성향상을 위한 열처리공정기술...110
  • 제 4 절 자기터널접합 소형화기술...122
  • 제 5 절 신구조의 자기터널접합 제조기술...133
  • 제 6 절 신재료(Bi) 연구...142
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...157
  • 제 1 절 연구개발 목표 및 평가의 착안점...157
  • 제 2 절 연구범위 및 연구수행방법...160
  • 제 3 절 연구수행 내용 및 결과 요약...161
  • 제 4 절 연구개발 목표의 달성도...165
  • 제 5 절 관련분야의 기술발전에의 기여도...168
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...171
  • 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...173
  • 제 7 장 참고문헌...175

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로