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[국가R&D연구보고서] 나노전자빔을 이용한 나노분석기술
Electron Nanobeam and Nanoanalysis Technology 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 삼성전자(주) 종합기술원
Samsung Advanced Institute of Technology
연구책임자 송세안
참여연구자 백현석 , 양민호 , 김미영 , 박경수 , 박윤창 , 박영아 , 송인용 , 박종봉 , 김미양 , 윤종성
보고서유형2단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2003-11
과제시작연도 2002
주관부처 과학기술부
연구관리전문기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200400000125
과제고유번호 1350022768
사업명 국가지정연구실사업
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 나노분석.나노전자빔.원자분해능.3차원영상.nanoanalysis.electron.nanobeam.STEM.atomic resolution.3-D imaging.

초록 ▼

본 과제는 나노 Beam, 나노 Probe의 최적화를 통한 HR-STEM imaging, 2-D EDS 및 EELS mapping, 나노 EELS결과와 계산을 통한 Chemical Mapping, Tomography의 3가지로 요약 할 수 있다. 이 3가지가 통합되어 진정한 나노 스케일에서의 3D imaging을 구현하는 것이 본 과제의 목표였다. 본래 5년간 수행 예정이었던 본 과제가 3년으로 줄면서 부분적으로 미흡한 결과들이 있는 것이 사실이지만 가장 많은 시간이 투입된 나노 분석 시스템의 구축이 완성되어 세계 최고 수준의 전자

Abstract ▼

Nanomaterials and nanodevices are studied using electron nanobeam controlled by electron optics at an atomic level. This technique include HRTEM(High Resolution Transmission Electron Microscopy), Z-Contrast STEM(Scanning Transmission Electron Microscopy), EDS (Energy Dispersive Spectroscopy), EELS(E

목차 Contents

  • 표지...1
  • 제출문...2
  • 보고서초록...4
  • 요약문...6
  • SUMMARY...8
  • CONTENTS...10
  • 목차...11
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요...12
  • 1절. 연구개발 개요...12
  • 2절. 연구개발의 필요성 및 범위...13
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황...14
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과...16
  • 1절. HR-STEM 나노분석 연구 결과...16
  • 2절. Low energy ion-milling법에 의한 TEM 시료의 비정질층 제거...21
  • 3절. Tomography...26
  • 4절. Holography...27
  • 5절. 분자구조체 3D imaging...30
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...47
  • 1절. 연구개발 목표의 달성도...47
  • 2절. 관련분야 기여도...47
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...50
  • 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...51
  • 1절. 고분해능 STEM 분석기법(별첨1)...51
  • 2절. Phase transmission electron Microscopy(별첨2)...51
  • 3절. Quantitative electron diffraction structure analysis and its using in physics and chemistry of solids(별첨3)...51
  • 제 7 장 참고문헌...52
  • 특정연구개발사업 연구결과 활용계획서...53
  • [첨부1] 연구결과 활용계획서...54
  • [첨부2] 기술 요약서...60
  • 별첨1...65
  • 별첨2...89
  • 별첨3...103

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