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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute |
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연구책임자 | 이일섭 |
참여연구자 | 김성주 , 이대엽 , 안광덕 , 정동욱 , 박영철 , 강종희 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1991-02 |
등록번호 | TRKO200500015265 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
엑사이머 레이저 미세가공용 고해상성 고감도의 Excimer Laser(EL) 레지스트 개발 해상도 (Resolution) : 0.35 ㎛ 감? 도 (Sensitivity) : 100 mJ/㎠ 이하 내건식 식각 특성 레지스트 제품화를 위한 시제품 개발
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