선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute |
---|---|
연구책임자 | 박병선 |
참여연구자 | 유형준 , 오용호 , 최성학 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1993-12 |
등록번호 | TRKO200500016209 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
광리소그래피 기술에 있어서 해상도의 한계를 결정하는 주요 변수는 광원의 파장, 렌즈의 구경, 요구되는 촛점심도, 감광제의 광감도 특성 및 공정등이 있다. 최근 해상도 향상을 위하여 광원의 파장을 작게하고 렌즈의 구경을 크게하려는 시스템 차원의 기술들이 그 한계를
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.