[보고서]도핑된 DLC를 이용한 정보통신용 FED 음극재료 개발

장진

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도핑된 DLC를 이용한 정보통신용 FED 음극재료 개발

보고서 정보
주관연구기관	정보통신연구진흥원 Institute for Information Technology Advancement
연구책임자	장진
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	1996-06
등록번호	TRKO200500020369
DB 구축일자	2013-04-18

초록

Diamond-Like Carbon 박막(이하 DLC박막)은 다이아몬드와 비슷한 높은 hardness(>90 Gpa)와 실리콘(4.33 eV)에 비해 낮은 일함수(work function)(<4 eV)를 가지고 있다. DLC 박막은 낮은 일함수와 이의 조절 가능성으로 FED(Fleld Emission Display)의 tip 소자로써 응용이 가능하다. DLC 박막을 증착시에 기존의 PECVD방법으로 박막내에 많은 수소량에 의해 많은 문제점을 가져온다.

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참고문헌 (25)

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과제요약정보
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