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NTIS 바로가기주관연구기관 | 정보통신연구진흥원 Institute for Information Technology Advancement |
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연구책임자 | 이재영 |
참여연구자 | 이기영 , 장국진 , 최전 , 이환철 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1996-12 |
등록번호 | TRKO200500022776 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
SAW(surface acoustic wave) 소자는 기판재료의 압전특성에 의한 전기적 에너지와 기계적 에너지의 상호 변환을 이용하는 소자로서, 이를 이용한 가장 큰 시장으로 예상되는 응용 분야는 800 MHz 범위의 이동 통신용 송수신 SAW 필터이다. 이러한 고주파 SAW 필터를 제조하기 위해서는 압전기판재료의 삽입손실과 열팽창 계수가 작아야 하고, 고주파 SAW 소자제작에 유리한 높은 표면탄성과 전파속도를 지니는 새로운 압전기판재료를 사용해야 한다. AlN 박막은 기존의 단결정 압전기판에 비해 2배 가까운 표면 탄성파전파속도
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