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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 윤의성 |
참여연구자 | 공호성 , 안효석 , 김창호 , 최웅수 , 김승종 , 한흥구 , 오현진 , 김동연 , ArvindSingh , 김학열 , 지태권 , 김두인 , Quong |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-03 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200500066428 |
과제고유번호 | 1350009770 |
사업명 | 21C 프론티어연구개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
키워드 | 나노.구동기.매니퓰레이터.그리퍼.스테이지.nano.actuator.manipulator.gripper.stage. |
1. 나노 이송 및 제어 장치 제작 및 구동
- 1 nm 급 해상도의 reaction force 형 선형 나노 구동기 시작품 제작.
- 광학적 방법을 통한 1 nm 급 해상도의 나노 구동 평가 기술 개발
- 정전기를 이용한 인치웜 방식 회전형 나노 구동기 소형 시작품 제작
- 회전형 구동기의 정밀 구동 및 자동 중심 기능 확인
2. 대변위 초정밀 나노 변위 측정용 센서 제작
- 초정밀 나노 변위 측정 센서 및 전용 회로 제작
- 1 nm 급 분해능 센서 성능 확인
3. CNT를 이용한 Ac
1. Development of nanodrive and control system and technology
- Development of the reaction force typed linear nano actuator with 1 nm resolution
- Development of evaluation technique by using optical method with 1 nm resolution in nano actuator
- Development of the inchworm typed rotationa
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