초록 ▼

본 연구는 EMC용으로 사용되는 구상용융 실리카 제조 기술을 개발하고, 개발된 system의 상용화를 위한 단계에서 system의 안정성/경제성을 확보하는 단계에서의 risk를 최소화하기 위하여 수행 되었다.
연구결과는 예상한 바와 같이 scale-up 하는 데에 효율적인 공정의 선정과 scale-up 기술을 이용함으로써 본 개발 system의 scale-up에 문제가 없음을 확인할 수 있었다.
따라서, 본 기술의 상용화를 통하여 현재 수입 사용되고 있는 구상용융 실리카 분체의 수입대체 가능함을 알 수 있었으며, 연구 결

본 연구는 EMC용으로 사용되는 구상용융 실리카 제조 기술을 개발하고, 개발된 system의 상용화를 위한 단계에서 system의 안정성/경제성을 확보하는 단계에서의 risk를 최소화하기 위하여 수행 되었다.
연구결과는 예상한 바와 같이 scale-up 하는 데에 효율적인 공정의 선정과 scale-up 기술을 이용함으로써 본 개발 system의 scale-up에 문제가 없음을 확인할 수 있었다.
따라서, 본 기술의 상용화를 통하여 현재 수입 사용되고 있는 구상용융 실리카 분체의 수입대체 가능함을 알 수 있었으며, 연구 결과는 다음과 같다.
1. EMC용 구상용융실리카의 제조기술은 세계 반도체의 가격과 시장성을 결정하는 중요한 요인이 되며, 우리나라는 반도체 제조부문에서 선진국 대열에 있지만, 원료제조기술이 확보되지 않아서 가격경쟁과 고유제품의 확보에서 불리한 위치에 있어왔다.
이에 본 연구에서는 화염 용사법에 의한 구상용융실리카 제조기술의 상용화를 진전시키기 위하여, pilot test를 완료하고 단위생산량 중대를 통한 공정의 경쟁력 확보를 위하여 개발 공정의 scale-up system을 자체설계하고 설계된 장비를 설치하여 요구되는 물성을 가진 구형용융실리카를 제조할 수 있었다.
2. 본 연구에서는, 기초연구부터 개발되어 확립한 주요 단위공정에 대하여 scale-up한 현재의 system에서의 시제품은 구형도 $90\%$이상, spiral flow 35inch 이상, 평균 입도분포 조절 $8\∼40{\mu}m$등의 제품을 제조할 수 있었기 때문에, 본 공정을 더욱 scale-up 하여야 하는 상용화 system을 구축하는 데에 문제점이 없음을 확인할 수 있었다.

목차 Contents

• 제 1 장 서론 ... 20
• 제 1 절 연구 배경 ... 20
• 제 2 절 EMC용 실리카의 수급현황 ... 22
• 제 3 절 국내$\cdot$외 관련 기술 현황 ... 25
• 제 4 절 EMC용 실리카 분말의 활용특성 ... 27
• 제 2 장 구상 용융실리카 분말 제조 기술 ... 32
• 제 1 절 구상 용융실리카 제조방법 ... 32
• 1. 구상실리카 분말의 제조 ... 32
• 2. 구상실리카 표면 특성 ... 36
• 제 2 절 화염용사 기술 ... 38
• 1. 개요 ... 38
• 2. 연소 특성 ... 38
• 3. 연소 기구 ... 39
• 4. 가연범위와 연소속도 ... 41
• 5. 연소방법 및 연소장치 ... 45
• 제 3 장 Pilot process의 Scale-up ... 48
• 제 1 절 Scale-up Factor ... 50
• 1. 전열 및 단열면적의 Scale-Up ... 50
• 2. 원료투입 및 저장조의 Scale-Up ... 51
• 제 2 절 Lab scale Test ... 53
• 1. Lab- scale burner 설계 및 제작 ... 53
• 2. Plame length test ... 55
• 제 3 절 Pilot scale process의 설계 및 설치 ... 57
• 1. 개요 ... 57
• 2. Pilot scale system에 의한 제품의 특성 ... 64
• 3. EMC에의 적용성 평가방법 ... 72
• 4. EMC에의 적용성 평가 결과 ... 74
• 제 4 절 Scale-up process의 설계 및 설치 ... 85
• 1. 개요 ... 85
• 2. 시제품 제조 ... 108
• 3. 시제품 특성 평가 ... 122
• 제 4 장 결론 ... 131
• 참고문헌 ... 133