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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
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연구책임자 | 김종욱 |
참여연구자 | 박양하 , 장원석 , 최해영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2006-01 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학기술정보연구원 Korea Institute of Science and Technology Information |
등록번호 | TRKO200600001300 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 액젓 혼합 시료.연질 엑스선.위상 대비.나노 분말 타깃.레이저-플라즈마.Liquid hybrid target.Soft X-ray.phase contrast.nano powder target.laser-plasma. |
연질 X-ray 광원은 주로 생명과학 및 의학 분야에 있어서 필수적 연구인 유전자연구에 연질 X-ray microscopy 나 bio-holography를 목적으로 사용되며, 산업분야에 있어서는 현재 반도체 노광(lithography)기술에서 사용되고 있는 엑시머 레이저 (KrF: 248 nm) 에 의한 반도체 선폭을 50 nm 이하로 획기적으로 줄일 수 있는 차세대 반도체 노광기술에 이용할 수 있으며, 박막의 조분석이나 고온고압 상태의 플라스마의 물리화학적 특성을 연구하는 기초적인 연구에 필수적으로 사용되는 기술이다. 종래에 주로
In order to image soft biological tissues that are consisted of living animal or plants, water window (
However, conventional X-ray source that is based on Tungsten filament tube generally produces hard X-ray. In order to solv
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