초록 ▼

- 반도체 클린룸용 외기공조기내 에어와셔 시스템의 생산기술 선진국인 일본의 에어와셔를 이용한 열회수 기술에 대한 핵심기술자료 입수 및 기술적 현황(state of the art)을 분석 완료하였다.
- CLASS 1 초청정 클린룸의 바닥면적 1평 기준 외기량인 800CMH급 열회수식 핀코일형 에어와셔 시스템을 상세설계하고 제작 완료하였다.
- 열회수성능을 평가하기 위하여 열회수식 에어와셔의 상하류에서의 공기 온습도상태 변화를 계절별로 측정하였고 에어와셔를 통한 열회수량 및 전열회수효율을 하기(35$^{\circ}

- 반도체 클린룸용 외기공조기내 에어와셔 시스템의 생산기술 선진국인 일본의 에어와셔를 이용한 열회수 기술에 대한 핵심기술자료 입수 및 기술적 현황(state of the art)을 분석 완료하였다.
- CLASS 1 초청정 클린룸의 바닥면적 1평 기준 외기량인 800CMH급 열회수식 핀코일형 에어와셔 시스템을 상세설계하고 제작 완료하였다.
- 열회수성능을 평가하기 위하여 열회수식 에어와셔의 상하류에서의 공기 온습도상태 변화를 계절별로 측정하였고 에어와셔를 통한 열회수량 및 전열회수효율을 하기(35$^{\circ}C$)에 4.59kw, 31.25%, 동기(8$^{\circ}C$)에 5.67kw, 67.74%, 중간기(25$^{\circ}C$)에 0.27kw, 9.09%로 얻었다.
- 가스제거성능을 평가하기 위하여 가스확산이 가장 활발한 하기(35$^{\circ}C$) 조건에서 대표적 화학오염물인 암모니아를 투입하며 에어와셔의 상하류에서의 암모니아 농도 변화를 측정하였고 암모니아 가스제거 율이 수공기비 $L/G{\geq}0.3$에서 80%를 초과하였다
- 열회수식 에어와셔 시스템에 대한 경제성 검토를 실시한 겉과 연간 연회수량은 11,210 GJ, 건설비 차액과 에너지 회수비를 비교한 단순 상각년수는 6 년으로 분석되었다.

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...2
• 보고서 초록...4
• 요약문...6
• 목차...14
• 제 1 장 서론...16
• 제 1 절 기초이론...17
• 제 2 절 세정원리...30
• 제 2 장 반도체/LCD클린룸의 일반적인 사례...31
• 제 1 절 클린룸의 에너지 절약 대책...31
• 1. 클린룸에서의 에너지 사용...33
• 2. 클린룸 에너지 벤치마킹 사례...35
• 3. 클린룸에서의 에너지 절약방법...38
• 4. 국내 에너지절약건물 사례조사...59
• 제 2 절 반토체 공장에 있어서의 에너지 절약대책...65
• 제 3 장 열회수식 에어와셔 시스템의 개요...72
• 제 1 절 일반 에어와셔...72
• 제 2 절 열회수식 에어와셔...76
• 1. 핀.코일방식 열회수식 에어와셔...76
• 2. 직접분무방식 열회수식 에어와셔...78
• 제 4 장 실험 장치 및 방법...79
• 제 1 절 열회수식 에어와셔 시스템 장치...79
• 1. 세정집진기 Design for Scrubber(or Packed Tower)...86
• 2. Design for The Equipments of Scrubber...89
• 3. 중간열교환기-Design for Heat Exchanger...92
• 제 2 절 유속 및 차압 측정 장치...94
• 제 3 절 입자 및 가스 발생 장치...96
• 1. 응축형 입자발생장치(CUG)...96
• 2. 암모니아 가스...99
• 제 4 절 입자크기분포 및 가스 측정 장치...100
• 1. 입자크기분포 측정 장치(Aerodynamic Particle Sizer(APS))...100
• 2. 에어로졸 샘플링 및 전달장치...102
• 3. 암모니아 측정 장치...105
• 제 5 절 온.습도 측정 장치...106
• 제 5 장 실험 결과 및 검토(핀.코일방식)...109
• 제 1 절 기초 실험 결과...109
• 제 2 절 열회수량 및 전열회수효율...111
• 제 3 절 가스제거 효율...114
• 제 4 절 집진 효율...115
• 제 6 장 실험 결과 및 검토(직접분무 방식)...117
• 제 1 절 기초 실험 결과...117
• 제 2 절 열회수량 및 전열회수효율...118
• 제 3 절 가스제거 효율...120
• 제 7 장 수치시뮬레이션 및 경제성 검토...122
• 1. 수치해성에 의한 시뮬레이션의 방법...122
• 2. 외국사례...130
• 제 8 장 결론...136
• 참고문헌...138