초록 ▼

1. 연구개발목표 및 내용
${\circ}$ 원전용 Ex-core 및 원격 방사선 감시 계측기 요소 기술 개발
${\bullet}$ 원전용 ex-core 고온 반도체 계측기 제작 기술개발
${\bullet}$ 원전용 원격 방사선 감시 시스템 상용화 기술 개발
2. 연구결과
${\circ}$ 원전 EX-CORE 계측기제작 요소 기술과 원격 방사선 감시 장치 국산화를 목표로 함.
${\circ}$ 원전 EX

1. 연구개발목표 및 내용
${\circ}$ 원전용 Ex-core 및 원격 방사선 감시 계측기 요소 기술 개발
${\bullet}$ 원전용 ex-core 고온 반도체 계측기 제작 기술개발
${\bullet}$ 원전용 원격 방사선 감시 시스템 상용화 기술 개발
2. 연구결과
${\circ}$ 원전 EX-CORE 계측기제작 요소 기술과 원격 방사선 감시 장치 국산화를 목표로 함.
${\circ}$ 원전 EX-CORE 계측기 제작 요소 기술 개발 분야는 온도 $300^{\circ}C $ 이상, 중성자 $10^7n/cm^2$, 감마선 10 krad-Si/h에 사용 가능한 중성자용 SiC 기반 반도체 계측기 제작 공정 요소기술 개발을 중점적으로 개발하며, 중성자 센서 원형 공정 요소 기술 개발을 수행하였음. 주요 연구내용은 중성자 전환박막 증착 및 증착막 검사 기술 개발, 반도체 소재 세정 기술 개발, SiC반도체센서의 물리적 화학적 표면 연마 기술 개발. 반도체 소재 금속 전극 기술 개발, 방사선 신호 차폐 및 처리요소 기술을 개발하였으며, 제작된 센서의 전기적 특성 검사 기술, 감마선 피로도 검사, 알파선과 중성자의 에너지분해능 및 효율 평가 기술을 개발함.
${\circ}$ 원전용 원격 방사선 감시 시스템 상용화 기술 개발 분야의 주요연구내용은 이온 챔버를 기반으로 하는 지역 방사능 감시 시스템(Area Radiation Monitoring System)의 장기 내구성 특성 시험 및 평가를 수행하였으며, 기존 섬광체 기반의 알파선과 베타선 계측기를 방사선 내구성이 우수한 화합물 반도체를 기반으로하는 차세대 알파선 계측기 제작 원천 공정 요소 기술을 개발함.
3. 기대효과 및 활용방안
${\circ}$ 고온용 차세대 반도체 센서 등 첨단센서 제작 분야 기술 확보
${\circ}$ 원전용 방사선 감시시스템 상용화 기술 확보
${\circ}$ 방사선 계측기술 분야의 국가기술력 경쟁력 향상
${\circ}$ 고준위 핵물질 저장 시설 및 차세대 원자로 노외 계측 제어에 활용
${\circ}$ 신소재 기술 확보로 고부가가치 정밀 계측기 개발 기반조성
${\circ}$ 세계 수준의 원전용 방사선 계측기 개발 기술적 기반 조성

Abstract ▼

The research topics of this project is fabrication of radiation resistive semiconductor detector and application of RMS at NPP. SiC detector was expected as advance detector for next generation reactor detector. The key technologies were developed and need to develop not only sensor structure but al

The research topics of this project is fabrication of radiation resistive semiconductor detector and application of RMS at NPP. SiC detector was expected as advance detector for next generation reactor detector. The key technologies were developed and need to develop not only sensor structure but also high temperature and radiation hard packaging materials. The home made RMS system was tested in the field of NPP site. RMS is based on the ion chamber type and low current signal processing, so this technology will be expand to the other non contact thickness measurement, for example iron plate thickness in hot temperature and textile weight in micron accuracy.
The developed key technology will be expend new industrial field included nano and bio industries needed sub micron spacial resolution.

목차 Contents

• 제 1 장 연구개발과제의 개요...24
• 제 2 장 국내.외 기술개발 현황...28
• 제 1 절 국외...28
• 제 2 절 국내...28
• 제 3 장 연구개발 수행내용 및 결과...32
• 제 1 절 원전용 ex-core 고온 반도체 계측기 제작 기술 개발...32
• 1. SiC 반도체 특성 조사...32
• 2. SiC 반도체 공정 요소 기술 개발...98
• 3. 고온 반도체 계측기 개발...147
• 제 2 절 원전용 원격 방사선 감시 시스템 상용화 기술 개발...175
• 1. 감마선 방사선 감시 시스템 현장 적용 기술 개발...175
• 2. 감마선 방사선 감시 시스템 특성 개량 기술 개발...190
• 3. 반도체형 알파선 계측기 개발...203
• 제 4 장 연구개발 목표 달성도 및 대외 기여도...223
• 제 1 절 연구개발 목표 및 달성도...223
• 1. 최종 목표...223
• 2. 당해단계목표 및 달성도...223
• 제 2 절 대외 기여도...225
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...227
• 제 6 장 연구개발 과정에서 수집한 과학 기술 정보...229
• 참고문헌...231