초록 ▼

${\circ}$ 연구의 최종 목표는 "진공게터의 기반기술인 핵심소재의 제조 및 특성평가기술을 확보하여 진공게터 기술의 기반을 마련하고 다양한 전방산업에 대한 기술지원 및 확산의 거점을 확보"하는 것이다. 최종목표를 달성하기 위한 본 연구에서 선정한 요소기술 분야는
1) 활성화 및 흡수특성 평가장치 제조 및 기법연구
2) ZrVM 계 게터합금 개발
3) 기계화학적 처리공정 개발
4) 미세구조와 게터특성과의 관계도출
5) 순금속의 게터특성 연구
6) 게터특성에 미치

${\circ}$ 연구의 최종 목표는 "진공게터의 기반기술인 핵심소재의 제조 및 특성평가기술을 확보하여 진공게터 기술의 기반을 마련하고 다양한 전방산업에 대한 기술지원 및 확산의 거점을 확보"하는 것이다. 최종목표를 달성하기 위한 본 연구에서 선정한 요소기술 분야는
1) 활성화 및 흡수특성 평가장치 제조 및 기법연구
2) ZrVM 계 게터합금 개발
3) 기계화학적 처리공정 개발
4) 미세구조와 게터특성과의 관계도출
5) 순금속의 게터특성 연구
6) 게터특성에 미치는 성형공정의 영향
7) 활성화미케니즘 규명 연구
8) 게터용 합금나노분말 제조연구
9) 게터소재의 특성 데이터베이스 구축 등이었음.
${\circ}$ 진공게터의 흡수속도 측정장비를 1-2차년도에 걸쳐 제작하고 운용 보완하여 게터성능 평가의 기반을 구축하였으며 자체적으로 활성화온도 측정방법을 개발하였음.
${\circ}$ 제작한 장비를 사용하여 측정한 개발합금의 가스흡수속도는 $H_2$ 1.9 L/sec $cm^2$ 그리고 CO 3.3 L/sec $cm^2$으로 정량적인 연구목표는 ($H_2$ 1.8 L /sec $cm^2, CO 0.8 L/sec $cm^2$)를 달성하였음.
${\circ}$ 연구결과는 3년간 국외논문게재 7건(SCI 5건), 국내논문 게재 15건, 국외 국내발표 45건 등을 국내외 전문학술지에 게재 또는 발표되었고 특허등록 1건 특허출원 3건 등의 산업재산권을 확보하였음.
${\circ}$ 등록된 특허 "게터의 제조방법"과 관련하여 2007년 7월 1일자로 국내 게터회사인 (주)세종소재와 전용실시권 양도계약을 체결하였음.

Abstract ▼

This final goal of the research is to secure manufacturing and evaluation technology of getter materials in an effort to establish a base which can provide technical support and spread towards various getter-related domestic industries. To attain the goal, essential issues related to getter technolo

This final goal of the research is to secure manufacturing and evaluation technology of getter materials in an effort to establish a base which can provide technical support and spread towards various getter-related domestic industries. To attain the goal, essential issues related to getter technology are selected as below.
1) Manufacturing and operation of getter evaluation system.
2) Development of ZrVM getter alloys
3) Application of mechanochemical treatment
4) Relationship between microstructure and getter properties
5) Getter properties of pure metals
6) Effect of shaping process on getter properties
7) Mechanism of getter activation phenomenon
8) Fabrication alloy nano particles for getter application
9) Getter property data base

목차 Contents

• 제 1 장 연구개발과제의 개요...28
• 제 1 절 연구개발의 필요성...28
• 제 2 절 연구의 목표 및 범위...29
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황...31
• 제 1 절 진공게터의 정의 및 용도...31
• 제 2 절 진공게터 제조산업 현황...36
• 제 3 절 주요국가의 진공게터 관련 연구동향...37
• 1. 유럽 및 미국...37
• 2. 국내...38
• 제 4 절 진공게터 평가기술의 현황...40
• 1. 흡수특성 평가...40
• 2. 활성화특성 평가...41
• 제 3 장 연구개발 수행내용 및 결과...42
• 제 1 절 흡수특성 평가...42
• 1. 연구의 개요...42
• 2. 흡수특성 평가 장치...42
• 가. 흡수특성 평가장치의 제작...43
• 나. 배기속도 및 배기용량 측정...52
• 다. 기체별 게이지 보정...54
• 3. 참고문헌...55
• 제 2 절 활성화특성 평가...56
• 1. 연구의 개요...56
• 2. 활성화특성 평가...56
• 가. 활성화특성 평가장치...57
• 나. 활성화특성 측정기법 개발 및 평가...61
• 3. 요약...71
• 4. 참고문헌...72
• 제 3 절 Zr-V-M 계 게터합금 개발...73
• 1. 연구의 개요...73
• 2. 게터용 합금시스템 분석 및 대상합금 선정...73
• 가. 상용합금계 분석...73
• 나. 대상합금계 선정...75
• 3. 진공용해법에 의한 합금용해...76
• 가. 실험장치 및 방법...76
• 나. 실험결과 및 고찰...80
• 4. 수소화-탈수소화 (HDH)법에 의한 합금분말 제조...84
• 가. 실험장치 및 방법...85
• 나. 실험결과 및 고찰...88
• 5. Zr-V-M 계 합금제조 및 평가실험...90
• 가. 상용 ST707 합금...90
• 나. Zr-V-M 계 합금의 상 및 미세구조 분석...93
• 다. Zr-V-M 계 합금의 활성화 및 흡수속도 측정...98
• 라. Zr-V-M 계 합금의 특성 비교분석...109
• 6. 요약...111
• 7. 참고문헌...112
• 제 4 절 기계화학적 처리...113
• 1. 연구의 개요...113
• 2. 기계화학적 처리 실험 방법...113
• 3. 미세구조 변화에 따른 실험 결과...115
• 가. 비정질화...115
• 나. 나노결정화에 따른 게터특성...119
• 4. 요약...130
• 5. 참고문헌...131
• 제 5 절 미세구조와 게터 특성...132
• 1. 연구의 개요...132
• 2. 산소량의 영향...133
• 가. 실험방법...133
• 나. 실험결과...136
• 3. 분말입도의 영향...140
• 가. 실험방법...140
• 나. 실험결과...143
• 4. 합금 구성 상(相)의 영향...145
• 가. 실험방법...146
• 나. 실험결과...148
• 5. 합금원소 (바나듐)의 영향...153
• 가. 실험방법...154
• 나. 실험결과...154
• 6. 표면 미세구조의 영향...161
• 가. 실험방법...161
• 나. 실험결과...162
• 7. 요약...171
• 8. 참고문헌...172
• 제 6 절 순금속의 게터특성...174
• 1. 연구의 개요...174
• 2. 수소화물법으로 제조한 순금속 분말...175
• 가. 물리적 특성...175
• 나. 활성화 및 흡수특성...176
• 3. 순금속 나노분말...190
• 가. 물리적 특성...190
• 나. 활성화 및 흡수특성...191
• 4. 순금속과 나노분말의 흡수특성 비교...202
• 가. 지르코늄...203
• 나. 티타늄...205
• 5. 요약...208
• 제 7 절 소재화 성형 공정...209
• 1. 연구의 개요...209
• 2. 게터 성형 공정...210
• 가. 벌크게터...210
• 나. 이종분말 혼합게터...214
• 다. 후막게터...216
• 라. 박막게터...223
• 3. 요약...227
• 제 8 절 활성화 미케니즘 규명 연구...228
• 1. 연구의 개요...228
• 2. 전기화학적 활성화 연구...228
• 가. 실험장치 및 방법...228
• 나. 실험결과 및 고찰...230
• 3. XPS를 이용한 비증발형 게터의 활성화 연구...242
• 가. 실험장치 및 방법...243
• 나. 벌크시료 실험결과...243
• 다. 분말시료 실험결과...256
• 4. 요약...265
• 5. 참고문헌...267
• 제 9 절 합금 나노분말 제조...268
• 1. 연구의 개요...268
• 2. Laser Ablation 법...268
• 가. 실험장치 및 방법...269
• 나. 실험결과 및 고찰...274
• 3. 아크 플라즈마법...300
• 가. 실험장치 및 방법...300
• 나. 실험결과 및 고찰...302
• 4. 전기선폭발법...313
• 가. 실험장치 및 방법...314
• 나. 실험 결과 및 고찰...317
• 5. 요약...349
• 6. 참고문헌...352
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...354
• 제 1 절 연구개발 목표의 달성도...354
• 1. 연구과제 목표수준의 타당성...354
• 2. 연구목표 달성도...355
• 제 2 절 관련분야 기술발전에의 기여도...358
• 1. 연구개발결과의 우수성/창의성...359
• 2. 공개된 연구개발 성과...359
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...365
• 제 1 절 추가연구의 필요성...365
• 제 2 절 타 연구에의 응용...366
• 제 3 절 기업화 추진방안...366
• 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...368
• 부록...370