초록 ▼

후면전극형 다결정 실리콘 태양전지 개발
$\bullet$ 후면전극형 실리콘 태양전지의 요소기술 개발: laser drilling, through-hole contact, laser에 의한 edge 및 junction isolation
$\bullet$ 후면전극형 다결정 실리콘 태양전지의 고효율화를 통해 변환효율 17.2%를 달성
단결정 실리콘 태양전지 in-line 양산공정 개발
$\bullet$ 국내 최초 in-line 태양전지 생산규모 30MW/년

후면전극형 다결정 실리콘 태양전지 개발
$\bullet$ 후면전극형 실리콘 태양전지의 요소기술 개발: laser drilling, through-hole contact, laser에 의한 edge 및 junction isolation
$\bullet$ 후면전극형 다결정 실리콘 태양전지의 고효율화를 통해 변환효율 17.2%를 달성
단결정 실리콘 태양전지 in-line 양산공정 개발
$\bullet$ 국내 최초 in-line 태양전지 생산규모 30MW/년 상용화 완료, 사업화 완성
$\bullet$ 단결정 실리콘 태양전지의 고효율화를 통해 변환효율 17.6% 달성
결정질 실리콘 태양전지 제조용 In-line PECVD 장비 개발
$\bullet$ 고밀도 플라즈마 소스 개발: 플라즈마 밀도 $>10^{11}/cm^3$, 균일도 $<{\pm}5%$
$\bullet$ 실리콘 질화막 제조조건 최적화: 증착속도 >80nm/min, 두께 균일도 $<{\pm}5%$, 굴절률 균일도 $<{\pm}1%$

목차 Contents

• 제 1 장 기술개발 목적 및 중요성...20
• 제 1 절 기술개요 및 개발 필요성...20
• 제 2 절 관련기술의 국내외 현황...34
• 제 3 절 현존기술의 문제점 및 해결방안...45
• 제 2 장 기술개발 목표 및 달성전략...48
• 제 1 절 최종개발목표...48
• 제 2 절 연차별 개발목표 및 내용...49
• 제 3 절 연구개발 추진체계...52
• 제 3 장 기술개발 결과...53
• 제 1 절 후면전극형 다결정 실리콘 태양전지 요소기술 개발...53
• 제 2 절 단결정 실리콘 태양전지 in-line 양산기술 개발...140
• 제 3 절 양산용 PECVD장비 개발...222
• 제 4 장 결론...238
• 제 1 절 기술개발 결과 요약...238
• 제 2 절 기대효과 및 활용방안...239
• 부록 : 후면전극형 다결정 실리콘 태양전지 변환효율 공인인증 결과...242