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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 임종연 |
참여연구자 | 김정형 , 임인태 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
사업 관리 기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
등록번호 | TRKO200800004950 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 저진공펌프.배가속도.도달진공도.진공특성.가스유량. |
760 Torr에서 10-4 Torr 영역에 걸쳐 전반적인 저진공펌프의 고유성능을 완벽하게 평가할 수 있는 방법을 개발하기 위하여 기존에 구축된 평가장치를 이용하여 저진공펌프의 표준화된 성능분석평가 방법의 개발 및 문서화된 규격의 제정이 필요하다.
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