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열경화몰딩과 반응소결을 이용한 세라믹스 실형상제조기술개발
Development of Economical Net-Shaped Technology of Ceramic Component with Complex Shapes 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 이해원
참여연구자 김긍호 , 박종구 , 김상우 , 이종호 , 안재평 , 김주선 , 전형우 , 윤복규 , 임건자 , 신현익 , 이동석 , 남호성 , 김소나 , 박민진
보고서유형2단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2002-10
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학재단
Korea Science and Engineering Foundtion
등록번호 TRKO200800067343
사업명 특정연구개발사업<국가지정연구실사업
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 입자충전.열경화몰딩.탄화규소.(반응)소결.웨이퍼 캐리어.particle packing.thermoset molding.silicon carbide.reaction.sintering.wafer carrier.

초록 ▼

열경화 몰딩공정과 반응소결공정을 결합하여 대형 복잡형상 세라믹스 부품으 ㅣ경제적 실형상 제조기술 개발의 실현을 목표로 연구하였다. 실형상 성형기술은 성형, 탈지, 탄화 공정 전반에 걸쳐 수축을 최소화 하여 이른바 무수축 성형기술을 확보하는데 연구의 주안점을 두었다. 개발된 기술은 다성분계 분말에 의한 충전구조 극대화를 위하여 성분간 분리현상이 극소화될 수 있는 액상응결공정에 의한 과립제조기술, 액상응결 과립을 이용하여 과립 컴프레션 몰딩과 과립 트랜스퍼 몰딩 기술 등을 이용하여 성형체의 광범위 균일 미세조직 및 무편석을 달성할 수

Abstract ▼

The present investigation focuses on the development of the key individual process and optimization of entire process for producing silicon carbide water carrier. In addition, the near-nmet-dimension fabrication capability should be demonstrated ad a prototype of wafer carrier, which is a strong ind

목차 Contents

  • 제1장. 연구개발과제의 개요...19
  • 제1절. 연구개발 목적 및 필요성...19
  • 제2절. 연구개발과제의 요소기술 분석...31
  • 제3절. 본 연구개발 목적 및 연구개발 범위...38
  • 제2장. 국내외 기술개발 현황...40
  • 제1절. 국외 기술 개발 현황...40
  • 제2절. 국내 기술개발 현황...43
  • 제3절. 국내외 현황 대비 본 연구개발 결과의 중요성...44
  • 제4절. 앞으로의 전망...46
  • 제3장. 연구개발수행 내용 및 결과...47
  • 제1절. 분말 트랜스퍼 몰딩...47
  • 제2절. 분말 트랜스퍼 몰딩을 이용한 원심성형...63
  • 제3절. 분말 컴프레션 몰딩...83
  • 제4절. 과립 컴프레션 몰딩...105
  • 제5절. 과립 트랜스퍼 몰딩...126
  • 제6절. 반응소결 접합...134
  • 제7절. 시작품 제작:(I) 육면체 기물의 제작...144
  • 제8절. 시작품 제작:(II) 1차 웨이퍼 캐리어 제작...161
  • 제9절. 시작품 제작:(III)2차 웨이퍼 캐리어 제작...165
  • 제10절. 종합결론...168
  • 제4장. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...170
  • 제1절. 연구개발목표의 달성도...170
  • 제2절. 대표적 성공사례...171
  • 제3절. 기타 계획하지 않은 연구성과...172
  • 제4절. 연구개발성과 (특허 및 논문)...172
  • 제5절. 대외 기여도...173
  • 제5장. 연구개발결과의 활용계획...177
  • 제1절. 2단계 연구의 필요성...177
  • 제2절. 연구결과의 활용계획 및 활용가능성...183
  • 제6장. 참고문헌...186

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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