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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 문성욱 |
참여연구자 | 신현준 , 유재욱 , 심재완 , 이병철 , 이승훈 , 김진혁 , 박준범 , 추성일 , 박병규 , 김무현 , 서호원 , 임영근 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-06 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200800067741 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 멤스.고종횡비.표면미세가공.엑츄에이터.신뢰성.MEMS.High aspect ratio.Surface micromachining.Actuator.Reliability. |
1. Ni-Co의 탄성계수 및 강도를 측정하고 이를 바탕으로 3가지 타입의 시험 모델을 해석하여 최적의 신뢰성 있는 고종횡비 마이크로 스프링 구조를 설계하였다.
2. 미세 단자 간격에 대응할 수 있고, 1~8gf의 반발력과 10~40
3. 고종횡비의 몰드 제작과 최소의공정오차
Material Properties of Ni-Co and structure design of sample for reliable micro spring structure desgin were studied. Samples for Ni-Co material properties were fabricated by MEMS process. Stiffness and elastic modulus of Ni-Co were measured with nano-Indentation. From this results, we designed relia
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