초록 ▼

ITO 나노 소재로 ITO 슬러리와 ITO 졸을 이용하여 유리판 한번의 스핀 코팅과 열처리로 ITO 박막을 제조하는 기술 개발 연구에서 다음과 같은 결과를 얻었다.
- 안정한 ITO 슬러리 제조
메탄올과 이소프로판올을 주성분으로 하여 ~ 40 nm ITO 분말 분산시켜 ~2 wt% 슬러리 제조 공정 확립.
- ITO 졸 제조
Indium(Ⅲ) acetate (99.99%)와 Tin(Ⅳ) chloride pentahydrate (98%)를 사용 하여 butanol과 DMF(N-di

ITO 나노 소재로 ITO 슬러리와 ITO 졸을 이용하여 유리판 한번의 스핀 코팅과 열처리로 ITO 박막을 제조하는 기술 개발 연구에서 다음과 같은 결과를 얻었다.
- 안정한 ITO 슬러리 제조
메탄올과 이소프로판올을 주성분으로 하여 ~ 40 nm ITO 분말 분산시켜 ~2 wt% 슬러리 제조 공정 확립.
- ITO 졸 제조
Indium(Ⅲ) acetate (99.99%)와 Tin(Ⅳ) chloride pentahydrate (98%)를 사용 하여 butanol과 DMF(N-dimethyl formide)의 혼합 용매에서 투명한 ~ 2 wt% ITO 졸 을 합성 공정 확립.
- 스핀 코팅으로 ITO 막 형성 공정
스핀 코팅으로 적절한 저항값을 가지는 ITO 막을 얻기 위해선 200∼300 rpm의 스핀 속도로 1 wt% ITO 슬러리와 1.5 ~ 2 wt% 졸 을 사용하여 예열된 유리판에 코팅하여 열처리 후 700∼1300$\ohm$/$\square$ 의 면저항을 얻을 수 있었다.
- 열처리 조건
건조된 ITO 유리판을 450∼500$\degc$에서 30~60분 열처리로 투과율 (~90%)의 접착 성이 우수한 ITO막을 얻을 수 있었으며, 직선성은 <$\plusmn$2%로 sputter ITO의 <$\plusmn$3% 보다 우수하였으며, 내환경성은 고온고습에서 직선성은 잘 유지되나, 저항이 ~20 % 변하여, sputter ITO의 ~15 %에 비하여 좀 높게 나타났다.

Abstract ▼

- Preparation of ITO slurry by dispersion
Efforts were made to disperse ITO powder(average size ~40 nm) in alcohols without any polymer dispersants, but with aids of various solvents at small ratios. Dispersion was proceeded by ball milling and the process parameters were studied in aspects of

- Preparation of ITO slurry by dispersion
Efforts were made to disperse ITO powder(average size ~40 nm) in alcohols without any polymer dispersants, but with aids of various solvents at small ratios. Dispersion was proceeded by ball milling and the process parameters were studied in aspects of milling speed, ball size, ratio of ball to powder, milling time, etc.
- Preparation of ITO sol
ITO sol was synthesized by varying solvents, heating schedule, concentration, amount of acid, etc.
- Process for ITO film by one step spin-coating
Parameters for spin-coating were examined in aspects of spin speed, temperature of substrate glass, spinning time, time intervals from introducing ITO slurry to ITO sol, etc.
- Characterization of spin-coated ITO panel for touch screen
Adhesion, transmittance, and resistivity were examined. Then selected ones were assembled as touch screen panel and then subjected to linearity test and aging test at high temperature (80$\degc$) and high temperature and high humidity (80$\degc$ and 90 %)

목차 Contents

• 제 1 장 연구개발과제의 개요...11
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황...12
• 제 3 장 연구 개발수행 내용 및 결과...13
• 1절 서 론...13
• 2절 저항막 터치 스크린의 구조와 동작원리...14
• 3절 저항막 터치 스크린의 성능 및 문제점...16
• 4절 실험 방법...18
• 5절 실험 결과...22
• 6절 결론...40
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...41
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획...43
• 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보...44
• 제 7 장 참고문헌...45
• 부록(이투아이 평가결과)...48