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NTIS 바로가기주관연구기관 | 영남대학교 YeungNam University |
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연구책임자 | 이종훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-10 |
과제시작연도 | 2002 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200800068023 |
과제고유번호 | 1350004347 |
사업명 | 목적기초연구사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 고순도 물질 제조법.레이저 정제.실리콘.전고체 파장가변레이저.파종 증폭.레이저 여기.다광자 여기.공명 여기.laser excitation.resonance ionization.Silicone.laser purification.selective ionization.isotope shift.all solid state tunable laser.Ti:Sapphire laser.injection seeding. |
반도체 산업 등에 필요한 실리콘 등의 물질을 고체형 레이저를 이용한 이온화 법을 이용하여 고순도로 정제하는 방법을 개발한다.
연구내용
실리콘의 선별적 여기를 실증하기 위하여 고분해능 분광실험이 가능한 청정 실험 장치를 구성하였다. 고분해능을 가진 광원을 개발하기 위하여 티타늄 사파이어(Ti:sapphire) 레이저로 증폭시킬 파장가변 연속발진 단일모드 다이오드 레이저를 개발하였다. Ti:Sapphire 레이저 증폭 장치는 532nm 파장 을 가진 고출력 Nd:YAG 펄스 레이저로 여기하였다. 에너지 변환 효율을 상승시키기
Development of laser purification method for Silicone by using an all solid-state tunable laser.
Contents of Research
We fabricated high resolution spectroscopic experimental setup to demonstrate selective ionization of silicone by using tunable solid state laser. Single mode diode lasr was ge
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