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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전남대학교 Chonnam National University |
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연구책임자 | 조동련 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2003-05 |
과제시작연도 | 2002 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900070557 |
과제고유번호 | 1350017109 |
사업명 | 목적기초연구사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | PECVD.저온 플라즈마.Methylene Blue.TiO2 박막.환경촉매.살균.광 촉매.가시광선에 의한 광활성.표면개질.PECVD.Low Temperature Plasma.Methylene Blue.TiO2 Thin Film.Environmental Catalyst.Sterilization.Photocatalyst.Activation/Visible Light.Surface Modification. |
본 연구에서는 전구체 Ti$(O-i-C_3H_7)_4$와 산소를 혼합한 기체를 사용하여 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 방법으로 유리기판 위에 증착하여 $TiO_2$ 박막을 제조하였다. Ti$(O-i-C_3H_7)_4$와 산소의 비, 기체압력, discharge power, 기판의 온도와 같은 공정조건들이 박막의 성장에 미치는 영향을 살피면서 기판과의 접착력 및 물리적 특성이 우수하면서 광 활성도가 높은 박막제 조에 가장 적합한 조건을 확립하였다. XRD를 이용하여 박막의 결정
The ultimate goal of this research is establishment of deposition technology onto various materials of $TiO_2$ film with high photoactivity to make $TiO_2$ photocatalyst more practical in the diverse applications. In this study, $TiO_2$ thin film was deposited onto a glass plate by means of PECVD(Pl
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