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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 이정중 |
참여연구자 | 이기락 , 정동하 , 이승훈 , 정승재 , 한영훈 , 박보환 , 김 훈 , 남경희 , 이희용 , 김진남 , 최효석 , 한동훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-06 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900071744 |
과제고유번호 | 1350019523 |
사업명 | 국가지정연구실사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 유도결합 플라즈마.플라스틱 코팅.Cr 건식도금.초경박막.ICP-CVD.ICP.low temperature deposition.superhard coating.ICP-evaporation.ICP-CVD. |
재료의 諸般특성을 提高하여 제품의 성능을 향상시키고 부가가치를 높이는 방법 으로 현재 수많은 표면 공정 기술이 사용되고 있다. 이 기술 중의 하나인 진공 건식 도금법은 습식도금의 단점인 환경공해 문제가 점차 심각해짐에 따라 그 중요성이 더 욱 커지고 있는 추세이다. 게다가 반도체 공정기술 및 표면 처리 기술의 발달과 함께 최근 다양한 진공 건식도금 방법들이 개발되고 있으며, 그에 따라 응용범위도 확대되 는 추세이다. 건식도금의 주종인 화학증착법(CVD)과 물리증착법(PVD)은 플라즈마의 도입으로 혁신적인 기술의 진보를 이룩할 수 있
The surface engineering technique has been significantly developed in the last quarter century to cope with the technology needs in the semiconductor processing. Coated tools with super hard hardness and high wear resistance as well as with very high corrosion and oxidation resistances can be produc
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