초록 ▼

질화물 반도체 인 GaN 압전 박막을 이 용한 SAW 필터 의 개 발은 국내 외 적 으로 연구 가 거의 이루어지지 않은 상황이다． 따라서 본 연구는 GaN 박막의 열적，화학적 안정성，우수한 강도，온도 안정성등의 장점을 이용하여 우수한 성능을 갖는 초고주파 대역의 SAW 필터의 제작을 실현할 수 있으리라 판단된다．
GaN 압전 박막의 성장 조건을 확립함과 동시에 주파수 특성을 통해 GaN 압전 박 막과 제작된 SAW 필터의 전파속도（phase velocity) , 삽입손실（insertion 1055) , 전파 손실（propaga

질화물 반도체 인 GaN 압전 박막을 이 용한 SAW 필터 의 개 발은 국내 외 적 으로 연구 가 거의 이루어지지 않은 상황이다． 따라서 본 연구는 GaN 박막의 열적，화학적 안정성，우수한 강도，온도 안정성등의 장점을 이용하여 우수한 성능을 갖는 초고주파 대역의 SAW 필터의 제작을 실현할 수 있으리라 판단된다．
GaN 압전 박막의 성장 조건을 확립함과 동시에 주파수 특성을 통해 GaN 압전 박 막과 제작된 SAW 필터의 전파속도（phase velocity) , 삽입손실（insertion 1055) , 전파 손실（propagation loss) , 사이 드로브 감에（sidelobe attenuation) , TCF (temperature COefficient of frquency) , 전기기게적 결합게수 （kZ) 등의 초고주파 sAw 필터에서 요구되는 구체적인 변수들의 특성을 측정하였다． 또한 GaN 박막을 Undoped, Zn doped, Mg doped 및 AIGaN 등으로 세분화 시켜 성장한 후， SAW 필터 특성을 측정하였다． 1차년도에는 Undoped- GaN, Zn- doped GaN 및 Mg- daped GaN 박막을 중심으로 SAW 필터를 제작하여 특성을 측정하였으며， 2차년도에는 1차년도에 우수한 특성을 보인 Undoped- GaN 박막과 AIGaN 박막을 중심으로 최적의 SAW 필터를 제작하고 특성을 측정하였다．
본 연구를 통해서 수백MHz 대역에서 안정적으로 동작하는 SAW 필터를 제작하였고， 이 기술을 바탕으로 수GHz~ 수십GHz 사이에서 동작할 수 있는 SAW 필터의 제작이 가 능할 것으로 판단된다． 또한 이제까지 알 수 없었던 GaN 게열의 여러 압전 박막에 대한 SAW 필터 파라미터들을 추출할 수 있었으며， 이는 SAW 필터 및 GaN 압전 박막을 연구하는 많은 사람들의 지침이 될 것으로 생각된다． 아래에는 이번 연구를 통해 얻은 성과를 나열하였다． 1. GaN 게열의 압전 박막을 이용한 수백MHz 대역에서 안정적으로 동작하는 SAW 필터 제작 및 특성평가 및 중요 파라미터 추출 2. SCI 논문 2편，국제 학술대회 발표 7편， 국내 학술대회 발표 2편，석사급 연구 인력 8명 배출 （박사과정 진학 2명，일반 기업체 근무 4명，기타 2명） 3. SAW 필터의 제작，측정 및 성능평가 기술 등， 다양한 노하우 확보 4. GaN 박막의 적용 범위를 넓히고，그 가능성을 확인 5. SAW 필터 및 GaN 박막 기술을 논문 발표를 통해 세게에 알림으로써 SAW 필터 및 GaN 박막 기술 분야에서 선두적인 입지 확보

Abstract ▼

SAW filter development using, nitride semiconductor, GaN piezoelectric thin film is hardly achieved in domestic and foreign. In this research, we used GaN thin film’s advantage like thermal chemical stability, excellent intensity and temperature stability is accomplished radio frequency band SAW fil

SAW filter development using, nitride semiconductor, GaN piezoelectric thin film is hardly achieved in domestic and foreign. In this research, we used GaN thin film’s advantage like thermal chemical stability, excellent intensity and temperature stability is accomplished radio frequency band SAW filter with excellent performance
In our research, we were established GaN piezoelectric thin film’s growth condition and measured property of concrete variable demanding on radio frequency SAW filter like a phase velocity, insersion loss, propagation loss, side attenuation, TCF(temperature coefficient of frequency), electromechanical coupling coefficient(k2) of GaN piezoelectric thin film and fabricating SAW filter.
GaN thin film’s growth was subdivided into undoped GaN, Zn doped GaN, Mg doped GaN and A1GaN The properties of SAW filter about these filters was measured.
For first year, undoped GaN, Zn doped GaN, and Mg doped GaN thin film SAW filter was fabricated and that’s properties were measured.
For second year, undoped GaN that is shown excellent property in first year and A1GaN thin film SAW filter was optimally fabricated and measured property.
In this research, SAW filter was acted stably on few hundreds MFJz band. On the basis of this technique, SAW filter acted on few Gllz few tenth Gllz will be to fabricate. SAW filter’s parameters for many piezoelectric thin film of GaN group, they were unknown until now, was extracted, this parameters will be indicator to many researchers of SAW filter and GaN piezoelectric thin film
In the lower part, the results of this research were enumerated.
1. Fabrication of SAW filter stably acting in few MFJz band and evaluation of
SAW filter property using GaN group piezoelectric thin film
2. SCI 2, international conference 7, domestic conference 2, master
candidates : 8 (entering upon Ph.D candidate : 2, entering a company : 4, the others : 2
3. The insurance of variable know how like fabrication, measurement, and performance evaluation for SAW filters.
4. The GaN thin film had a wide range of application and the probability was confirmed
5. To reading papers on the SAW filter and GaN thin film technique, we confirm the head location of the field of SAW filter and GaN thin film technique in the world.

목차 Contents

• Ⅰ. 연구계획 요약문...3
• 1. 국문요약문...3
• Ⅱ . 연구결과 요약문...4
• 1. 국문요약문...4
• 2. 영문요약문...5
• Ⅲ . 연구내용...6
• 1. 서론...6
• 2. 연구방법 및 이론...8
• 3. 결과 및 고찰...25
• 4. 결론...47
• 5. 인용문헌...48