최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 경남대학교 KyungNam University |
---|---|
연구책임자 | 김성진 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2002-06 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900071890 |
사업명 | 지역대학우수과학자 지원연구 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 다공질 실리콘.유기물 센서.멤브레인 구조.에탄올.TMAH.저항형.porous silicon.organic sensors.membrane.ethanol.TMAH.resistance type. |
- 기존의 반도체 센서의 단점인 식별성(Selectivity)을 개선하고, 상온에서도 측정이 가능한 센서를 개발하고자 함
- 이를 위해 멤브레인 구조로 된 다공실 실리콘 센서를 제작
- 기상 혹은 액상의 유기물에 대한 감지도 평가
- 연구 결과에 대한 SCI급 저널에 투고
- 비등방성 습식 에칭을 통한 실리콘 멤브레인의 제작
- 양극 산화법에 의한 실리콘 멤브레인상에 다공질 실리콘 층의 형성
- 대상 물질에 대한 시료의 전기전도도 변화 실험
= 음주 측정용 센서로 활용하기 위한 다공
- Development of semiconductor sensors which own good selectivity as well as are possible to operate at room temperature
- Fabrication of porous silicon sensors with membrane structure
- Estimation of sensitivity for organic materials in vapor or liquid types
- Publishing the results of
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.