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NTIS 바로가기주관연구기관 | 고려대학교 Korea University |
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연구책임자 | 남산 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-05 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900072030 |
과제고유번호 | 1350008975 |
사업명 | 나노바이오기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 고주파.유전체.나노박막.특성평가기술.수동소자.microwave.dielectric.nano-thin film.measurement technology.passive devices. |
1. 고주파 유전체 나노 박막성장 기술 및 박막의 미세 구조 연구
- 기존의 통신부품용 고주파 세라믹스의 박막화 성공
- 성장 조건과 박막의 미세 구조변화를 연구
- 다양한 고주파 유전체 세라믹스의 나노 박막화를 통해 그 응용 가능성 확인
2. 나노 박막의 고주파 특성평가 시스템 구축
- 최소 60nm정도의 유전 박막의 특성을 고주파 대역에서 성공적으로 측정
- 측정 방법에 대한 다양한 검증과 연구를 통해 최적화된 측정 시스템 구축
- 고주파 특성 평가용 시편 제작 photolitholraphy
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