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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 Pohang University of Science and Technology |
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연구책임자 | 제정호 |
참여연구자 | 이재목 , 권용범 , 설승권 , 김민욱 , 편아람 , 김인우 , 김종국 , 강태수 , 도석주 , 김현승 , 이호준 , 조창식 , 강혜숙 , 김종련 , 김이곤 , 최승덕 , 김원효 , T.Argunova , PramodBorse , XiaoJin , 김보라 , 권명희 , 박윤정 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-06 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900072139 |
과제고유번호 | 1350008298 |
사업명 | 국가지정연구실사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 금속.반도체.나노구조.방사광.X선.X-ray.synchrotron. |
시간,공간 분해능을 가지는 방사광X선을 이용, in-situ 상태에서 실시간 (real time) 및 비파괴적 방법으로, 금속/반도체 나노 구조를 체계적으로 분석하는 기 술을 확립하고 이를 적용함. 방사광 X선을 이용한 나노구조 분석 기반 기술 확보 실시간 나노구조 분석을 위한 장치 개발 : 방사관 X선 산란 실험 장치와 결함된 in-situ 금속/반도체 나노구조 제작 장치 (스퍼터, UHV 시스템, 열처리 장치 등) 설계, 제 작 개발 표면 감응 X 선 산란 기법 개발 : 표면에서의 X선 반응에 관한 과학적 기초 분석, 표면 X선
Using the spatial and time coherent synchrotron X-rays, we have developed and established the X-ray scattering techniques for characterization of nano-structure of metal/semiconductor systems. Main advantages of the techniques lie in their applicability to in-situ, real-time and nondestructive inves
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