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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에스에프테크놀로지 |
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연구책임자 | 채현식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2004-01 |
과제시작연도 | 2003 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900072842 |
과제고유번호 | 1350021297 |
사업명 | 원자력 실용화사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 엑스선.이물질 검출기.반도체.실리콘.X-ray.Inspection Detector.semi-conductor.Silicon. |
X-ray를 이용한 검사장비에 있어서 현재 국내에서 사용되고 있는 이물질 검출 기 및 기존에 규격이 상용화된 X-ray 검사 장비를 전량 외국에서 수입하여 사용하 고 있는 실정이다. 그러나 기존에 사용하고 있는 이물질 검출기는 일반적인 이물질 을 검출하고 있으나 특정 이물질을 검출하지 못할 뿐만 아니라 작은 크기의 미립자 를 검출하는데 있어서 정밀 정확도가 낮다는 문제점을 갖고 있다. 현재 사용되고 있 는 X-ray 발생장치는 특정 이물질을 검출하기 위한 특정 X-ray 파장을 발생시키지 못하는 제약이 있다. 한편, X-ray 영상
All of the alien substance detector and standardized X-ray generator used in X-ray inspection equipment have been imported from abroad. The conventional alien substance detector can detects not specific materials but general materials. Also it have problems which accuracy is very low in detecting li
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