초록 ▼

${\circ}$ 고품위 ITO 코팅 Glass 제도 기술 개발 : 코팅 공적 온도 변화에 따른 ITO 박막 제조기술 연구를 수행하여 다음과 같은 결혼을 얻었음.
${\cdot}$ 최적 코팅 온도 : $350^{\circ}C$
${\cdot}$ 기준 박막 두께: 1600${\AA}$
${\cdot}$ 면저항: 10${\Omega}$/${\box}$

${\circ}$ 고품위 ITO 코팅 Glass 제도 기술 개발 : 코팅 공적 온도 변화에 따른 ITO 박막 제조기술 연구를 수행하여 다음과 같은 결혼을 얻었음.
${\cdot}$ 최적 코팅 온도 : $350^{\circ}C$
${\cdot}$ 기준 박막 두께: 1600${\AA}$
${\cdot}$ 면저항: 10${\Omega}$/${\box}$
${\cdot}$ 가시광선 투과도: 86% 이상
${\cdot}$ 표면 Roughness: 30${\AA}$ 이하
${\circ}$ ITO 코팅층 생산 속도 증대 요인 분석 연구
${\cdot}$ 다기능 파형 제어 전원 장치를 활용한 ITO 코팅층 제조 연구를 통한 particle 형성 제어 및 고품위 ITO 박막을 제조하기 위한 조건 확립
${\cdot}$ 이온건을 이용한 전처리 연구를 통한 코팅층의 물성 증대요인 확립

Abstract ▼

* 1st year(2001)
${\circ}$ Development of a high qualities of ITO coating glass
- Transparency : over than 87%
- Electrical conductivity : 10${\Omega}$/${\box}$
- Film thickness : 1600${\AA}$
- Surface roughness: 40${\AA}$
- De

* 1st year(2001)
${\circ}$ Development of a high qualities of ITO coating glass
- Transparency : over than 87%
- Electrical conductivity : 10${\Omega}$/${\box}$
- Film thickness : 1600${\AA}$
- Surface roughness: 40${\AA}$
- Development of deposition rate
${\circ}$ Analyese of ITO coating systems
- Analyses of coating layers by using the AFM, XRD and photo-spectrometer
* 2nd year(2002)
${\circ}$ Development of a high qualities of ITO coating glass
- Transparency: over than 88%
- Electrical conductivity: 10${\Omega}$/${\box}$
- Film thickness: 1500${\AA}$
- Surface roughness: 30${\AA}$
- Development of deposition rate
${\circ}$ Analyese of ITO coating systems
- Analyses of coating layers by using the AFM, XRD and photo-spectrometer ${\rightarrow}$ Establishment of production data

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...2
• 보고서 초록...3
• 요약문...4
• SUMMARY...6
• CONTENTS...8
• 목차...10
• 제1장 연구개발과제의 개요...11
• 제2장 국내외 기술개발 현황...12
• 제1절 서론...12
• 제2절 투명 전도성 코팅 기술의 구내외 연구 현황...13
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과...16
• 제1절 스퍼터 코팅 시스템...16
• 제2절 코팅 공정 기술 개발 결과...19
• 1. 전처리 연구...19
• 2. 투명 전도성 코팅연구...22
• 3. 투명도 및 저항 특성...24
• 4. 표면조도 제어 연구...26
• 5. 피막 특성 평가 기술...28
• 가. Adhesion(밀착력)...28
• 나. Steel Wool 시험...29
• 다. Salt Spray Test(염수 분무 시험)...29
• 라. Humidity Test(습도 시험)...29
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...30
• 제1절 연구 목표 달성도...30
• 제2절 관련 분야에의 기여도...30
• 제5장 연구개발결과의 활용계획...31
• 제1절 활용계획...31
• 제6장 연구개발과정에서 수집한 해회과학기술정보...32
• 제7장 참고문헌...35