초록 ▼

○ 이 사업의 목적은 국내의 진공기술의 발전과 진공 사업의 인프라 역할을 위해 진공도 10$^{-9}$ Pa 급까지의 진공 핵심 부품, 진공 시스템 및 공정 신뢰성 제고를 위한 종합평가 장치를 구축하고 운영하는 것임
○ 구체적 목표는 총 17종 72개 진공관련 평가 항목에 대한 품질 보증서 발급 및 관련 data 제공, 진공기술 규격과 관련정보 database 구축, 진공기술 교육, 산학연 교류회 등을 통한 지식 정보 확산임.
○ 그 결과 장치구축분야에서는 진공펌프의 배기속도 등 모두 72개 항목에 대

○ 이 사업의 목적은 국내의 진공기술의 발전과 진공 사업의 인프라 역할을 위해 진공도 10$^{-9}$ Pa 급까지의 진공 핵심 부품, 진공 시스템 및 공정 신뢰성 제고를 위한 종합평가 장치를 구축하고 운영하는 것임
○ 구체적 목표는 총 17종 72개 진공관련 평가 항목에 대한 품질 보증서 발급 및 관련 data 제공, 진공기술 규격과 관련정보 database 구축, 진공기술 교육, 산학연 교류회 등을 통한 지식 정보 확산임.
○ 그 결과 장치구축분야에서는 진공펌프의 배기속도 등 모두 72개 항목에 대한 장치의 설치와 측정절차가 확립되었음.
○ 국제인증분야에서는 18개 측정 평가 항목에서 ISO 인증을 받음.
○ 홈페이지를 이용한 진공기술의 정보의 확산을 위해 약 300여개의 기술규격 등 신기술 정보를 게시하고 있으며 현재의 방문자는 약 27만 명에 이름.
○ 연구의 수행 중 개발된 기술 등의 기술자문 및 시험검사는 약 80건에 이르고 연구성과 확산을 위한 산학연 사업은 10 여 건에 이르고 있음.
○ 본 사업으로 구축된 장비는 산학연의 유기적인 협력 체제를 2단계의 극청정 진공 기술 개발의 근간이 되도록 함.

Abstract ▼

(1) Establishment of performance evaluation systems
○ Construction of the performance evaluation systems with 17 performance evaluation systems including 72 testing items
- External services through establishment of evaluation procedures (technical data, quality assurance certificates)
(2)

(1) Establishment of performance evaluation systems
○ Construction of the performance evaluation systems with 17 performance evaluation systems including 72 testing items
- External services through establishment of evaluation procedures (technical data, quality assurance certificates)
(2) International Accreditation
○ ISO 9001 accreditation
○ International peer review through key-comparisons
○ Vacuum technical committee of the International Organization for Standardization, ISO/TCl12
(3) Dissemination and diffusion of vacuum technical information
○ Diffusion of evaluation codes and new technical information through the database system in the web site
(4) Establishment of the facility

목차 Contents

• 표지...1
• 제출문...2
• 보고서 초록...3
• 요약문...4
• SUMMARY...7
• CONTENTS...11
• 목차...12
• 제1장 연구개발과제의 개요...13
• 제1절 연구개발의 목적...13
• 제2절 사업 배경 및 연구범위...16
• 제3절 추진전략 및 방법...22
• 제4절 사업의 필요성...29
• 제2장 국내외 환경 분석...33
• 제1절 국내외 기술 환경 분석...33
• 제2절 사회적·경제적 환경 분석...49
• 제3절 본 연구결과 성과가 미치는 영향...63
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과...64
• 제1절 진공특성 평가장치 구축...64
• 제2절 평가장치 운용 및 활용...393
• 제3절 국제 인증 및 신뢰성 확보...408
• 제4절 진공기술정보의 보급...414
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...431
• 제5장 연구개발결과의 활용 및 기대효과...433
• 제6장 결론...437
• 부록...438
• BIBLIOGRAPHIC DATA SHEET(국문)...481
• BIBLIOGRAPHIC DATA SHEET(영문)...482