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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 장원석 |
참여연구자 | 윤경구 , 신보성 , 김재구 , 황경현 , 이제훈 , 최두선 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2002-09 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900073605 |
사업명 | 특정연구개발사업<국가지정연구실사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 광가공기술.레이저 어블레이션.3차원 가공법.미세구조물.마스크 조형법.Photomachining.Laser ablation.3D fabircation.MEMS.mask projection. |
o 248nm(Excimer) 및 355nm(DPSS)용 다축 복합 시스템 구축
- 제어정도(
- 폴리머, 금속 등의 가공 재질 특성을 고려한 광학계의 최소 가공 빔 확보를 위한 시스템 제작 가공분해능 :
o 가공 대상 재료의 가공성 평가
- 재료: 폴리머, 세라믹, 금속박막
- 데이터: 제거임계에너지 밀도, 펄스당 제거깊이, 수직면 기울기,
The feasibility of laser ablation in micro-machining of 3D structure of MEMS(Micro Electro Mechanical System) parts was studied in this study. The micro-machining characteristics of polymer, ceramic and metal thin film such as etching rate vs. energy fluence, thermomechanical process and ablation me
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