초록 ▼

<현장용 표준기 개발>
- 광학식 형상 측정기의 Z축 교정용 단차 기준물 개발
- GPS 매개체 기반의 원격시각비교를 위한 GPS 개별위성별 기준신호(1 PPS) 출력장치의 하드웨어 실험실 레벨 구현
- GPS 출력신호의 채널 제어 및 통신을 위한 운용 소프트웨어 개발
- 현장용 기준용액의 측정분석과 교정용 표준용액의 상호비교분석
- 염화물측정기의 현장측정지침서 및 교정 불확도 모델 작성
- IPRT 센서 설계, 제작 및 소형 전기로를 이용한 자동온도가변 시스템 구축
- $0\sim55

<현장용 표준기 개발>
- 광학식 형상 측정기의 Z축 교정용 단차 기준물 개발
- GPS 매개체 기반의 원격시각비교를 위한 GPS 개별위성별 기준신호(1 PPS) 출력장치의 하드웨어 실험실 레벨 구현
- GPS 출력신호의 채널 제어 및 통신을 위한 운용 소프트웨어 개발
- 현장용 기준용액의 측정분석과 교정용 표준용액의 상호비교분석
- 염화물측정기의 현장측정지침서 및 교정 불확도 모델 작성
- IPRT 센서 설계, 제작 및 소형 전기로를 이용한 자동온도가변 시스템 구축
- $0\sim550^{\circ}C$ 온도영역에서 IPRT 히스테리시스 및 장기안정도 측정
- Four-Point Probe법의 single & dual configuration을 이용한 전도성 박막 두께 측정기 개발
- 두께'측정범위: 10 nm~ 10 ${\mu}m$, 측정정확도: 0.5 % 이하
- 400 Hz ~ 1 MHz 대역의 현장교정용 교류저항 표준기 1 set($1 \Omega$, $10 \Omega$, $100 \Omega$, $1 k\Omega$, $10 k\Omega$, $100 k\Omega$) 6 ea를 개발
- WiBro/X-band 안테나특성 측정능력 상호비교
- 직접 도달음과 반사음의 분리를 위한 신호처리 개선 기법의 개발
- 현장용 측정 장치 및 프로그램 개발
- 자기 탈자 및 소자 관련 복합 기술 개발 계획
<산업측정 품질보증기술 개발>
- 이동형 저진공게이지 교정장치 개발 및 보급
- 붕소가 도핑된 실리콘 박막 제작. 붕소의 농도 정량 및 깊이에 따른 농도 균질도 검증. 실리콘 내 정량분석 불확도 산출 및 절차서 제작
- EMAT(Electromagnetic-Acoustic Transducer) 이용 초음파 종/횡파 동시 측정을 통한 탄성계수 평가 기술 개발
- 정적형 유량계 throughput limit 향상기술 개발($1\times10^{-2} mbar-L/s$). 챔버 및 진공시스템 누설 방지 기술 접목을 통한 정적형 유량계 활용도 극대화 기술 연구
- 시험장치 및 누르개 선정 및 개선 기준 설정. Column spacer의 탄소성 특성(탄성 복원율, 연성(강성)) 측정을 위한 시험법 및 절차서 개발
- 진공 공정용 진공부품에 대한 플라즈마 영향 측정기술
- 브리넬 및 비커스 경도의 CMC 산정절차 개발 및 CMC 재평가
- 교정/시험 성적서 작성 지침서 개발. 초보자를 위한 쉬운 측정불확도 평가 및 표현 지침서 개발
- 비전센서와 영상처리기법을 이용한 균열검출시스템의 특성을 분석하고 관련된 인자를 분류 및 그 영향을 분석하여 균열검출 및 측정의 신뢰성을 평가할 수 있는 신뢰성 검증 평가 장치와 평가 소프트웨어의 제시
<측정네트워크 구축>
- 25 개 측정클럽 운용
- 종합워크숍 및 개별 워크숍 개최
- 홈페이지 개선 및 뉴스레터 발행
- 20 개 기업체에 대한 홈닥터제 운영
- KRISS 측정전문가 데이터 베이스 구축

Abstract ▼

- Design, fabrication and verification of step height certificated reference material for precision calibration of optical profilers along the vertical axis
- Implementation of a laboratory level hardware of reference output(1 PPS) accor

- Design, fabrication and verification of step height certificated reference material for precision calibration of optical profilers along the vertical axis
- Implementation of a laboratory level hardware of reference output(1 PPS) according to a specific GPS satellite for remote time comparison based on GPS
- Development of an operating software for control and communication of GPS-
- Analysis of measurement result of reference liquid for the chloride ion concentration for ready-mixed concrete and inter-comparison of standard liquid for calibration
- Fabrication of IPRT and the measurement system using the movable furnace. Measurement of hysteresis and long-term stability for IPRT in the temperature range from $0 ^{\circ}C$ to $550 ^{\circ}C$
- Development of thin films thickness meter using single & dual configuration of four-point probe method : Measurement range ; few nm ~ ten ${\mu}m$, Best accuracy ; 0.5 %
- Development of one set of ac resistance standards for field calibration between $1 \Omega$, and $100 k\Omega$ with frequency range over 400 Hz to 1 MHz
- Intercomparison of WiBro/X-band antenna measurements Development of signal separation technique of direct and reflected waves, and development of measurement system and program
- Development plan of deperm and degaussing technique in magnetic field

- Development and distribute of the portable low vacuum gauge calibration system
- Industries of Si based solar cell requires CRMs to quantify the minor doping elements. CRMs are required for the establishment traceability of solar cell industries
- Development of in-situ measurement technique of material's elastic constant for the degradation evaluation of structures used in harsh environment for a long time
- Evaluation technology of throughput limit for measurement of the dry pump used in the industry of the next generation semiconductor and display is required. Development of the fine flow control system and measurement is required because the efficiency of dry vacuum pump increases
- Development of test method and procedure for the measurement of mechanical properties of column spacer for TFT LCD
- To acquire quantitative standards based on the impact of plasma of vacuum coating parts, a coating film evaluation test has been developed
- Ensure the efficiency and reliability of calibration service of Brinell and Vickers hardness though improvement of CMC of Calibration Laboratories
- To develop a guide on the expression of certificate in calibration and testing, also to develop a basic guide for evaluation of uncertainty that is available in industry
- The verification device and method that can measure reliability on measuring crack in these crack detection systems are needed

- Operation of 25 measurement clubs
- Holding joint workshop and single club workshop
- Operation of measurement club homepage and publication of newsletter Supporting home doctor activity for 20 small companies
- Establishment of database system of KRISS measurement experts

목차 Contents

• 제 1 장 서론 ...24
• 제 2 장 현장용 표준기 개발 ...28
• 제 1 절 서론 ...30
• 제 2 절 LCD 산업체의 spacer 측정 장비 신뢰도 제고 ...31
• 제 3 절 산업현장 시각비교용 핵심요소 장치 개발 ...39
• 제 4 절 레미콘 염소이온농도측정 신뢰도 제고 ...50
• 제 5 절 산업용 백금저항온도센서의 최적불확도 평가 모델 개발 ...60
• 제 6 절 자동차 조명 배광측정기 현장용 표준기 개발 ...73
• 제 7 절 전도성 박막 두께 측정기 개발 ...87
• 제 8 절 현장교정용 교류저항표준기 개발 ...98
• 제 9 절 WiBro/X-band 안테나 측정 상호비교 ...108
• 제 10 절 In-situ 흡/반사음계수 측정 시스템 개발 ...121
• 제 11 절 함정의 자기장 탈자 및 소자 기술개발을 위한 산학연 협력체제 구축 ...134
• 제 12 절 결론 ...144
• 제 3 장 산업측정 품질보증기술 개발 ...146
• 제 1 절 서론 ...148
• 제 2 절 저진공게이지 현장용 교정장치 개발 ...149
• 제 3 절 실리콘 태양전지용 붕소 정량용 인증표준물질 개발 ...155
• 제 4 절 사용 중 설비재료 탄성계수 실시간 현장측정기술 신뢰도 제고 ...165
• 제 5 절 첨단 공정용 드라이펌프 측정 throughput limit 향상기술 개발 ...173
• 제 6 절 TFT LCD용 Column-Spacer 기계적 특성 평가 ...181
• 제 7 절 반도체/LCD 공정 장비용 세라믹코팅부품의 플라즈마 손상에 의한 Life time 평가방법 개발 ...195
• 제 8 절 국가교정기관의 브리넬 및 비커스 경도의 CMC 신뢰도 제고 ...203
• 제 9 절 성적서 표기 및 작성 지침서 개발 ...224
• 제 10 절 콘크리트 구조물의 안전성평가를 위한 복합시험검사 장치의 신뢰도 제고 ...263
• 제 11 절 결론 ...277
• 제 4 장 측정 네트워크 구축 ...278
• 제 1 절 서론 ...280
• 제 2 절 측정클럽 ...282
• 제 3 절 홈닥터 활동 ...298
• 제 4 절 결론 ...325
• 제 5 장 결론 ...328