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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에스엔텍 |
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연구책임자 | 안경준 |
보고서유형 | 중간보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-09 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 중소기업청 |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201000006818 |
과제고유번호 | 1425043899 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
연구개발팀의 선행연구결과 기존의 Direct Type, Remote Type의 대기압 플라즈마 리액터 단독으로는 PI 필름의 표면처리를 원활히 할 수 없고, 새로운 형태의 플라즈마 리액터를 제작해야 한다. 우선 위탁기관인 금오공대 정보재료 및 소자연구실의 축적된 플라즈마 소스 관련 기술을 도입하여 PI 필름 처리공정이 확보된 Direct Type 플라즈마 리액터를 안정화 시킨다. 구조적 약점에 의한 강한 Filamentary discharge를 억제하여 균일하고 재연성 있는 Direct Type 플라즈마 리액터를 확보한다.
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