초록 ▼

연구개발팀의 선행연구결과 기존의 Direct Type, Remote Type의 대기압 플라즈마 리액터 단독으로는 PI 필름의 표면처리를 원활히 할 수 없고, 새로운 형태의 플라즈마 리액터를 제작해야 한다. 우선 위탁기관인 금오공대 정보재료 및 소자연구실의 축적된 플라즈마 소스 관련 기술을 도입하여 PI 필름 처리공정이 확보된 Direct Type 플라즈마 리액터를 안정화 시킨다. 구조적 약점에 의한 강한 Filamentary discharge를 억제하여 균일하고 재연성 있는 Direct Type 플라즈마 리액터를 확보한다.
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연구개발팀의 선행연구결과 기존의 Direct Type, Remote Type의 대기압 플라즈마 리액터 단독으로는 PI 필름의 표면처리를 원활히 할 수 없고, 새로운 형태의 플라즈마 리액터를 제작해야 한다. 우선 위탁기관인 금오공대 정보재료 및 소자연구실의 축적된 플라즈마 소스 관련 기술을 도입하여 PI 필름 처리공정이 확보된 Direct Type 플라즈마 리액터를 안정화 시킨다. 구조적 약점에 의한 강한 Filamentary discharge를 억제하여 균일하고 재연성 있는 Direct Type 플라즈마 리액터를 확보한다.
Direct Type 플라즈마 리액터의 불균일은 전극간 거리의 차이, 유전체의 순도, 유전체 표면상태, 전극 블록과 유전체의 밀착불량, 전극온도의 불균일 등이 있다. 대부분의 요인들이 기구적으로 해결가능하다. 하지만 전극 블록과 유전체의 밀착불량은 아무리 정밀하게 연마를 한다고 해도 완전히 밀착시키기 어렵다. 유전체와 전극사이 미세한 공간이 발생하면 유전체의 분극현상에 의해 공간에 전위차가 형성되어 미소방전이 발생하여 열이 발생하고 다시 전류가 집중되어 강한 Filamentary discharge가 형성되는 것으로 보인다. 이는 본 연구개발팀에 의해 출원된 특허(출원번호 10-2007-0072731)의 전극형성기법(질소에 의한 전극 2중 냉각, Sputtering에 의한 Gold coating)을 도입·발전시켜 해결하고자 한다.

목차 Contents

• 진도보고서 ...1
• 기술개발 추진현황 ...2
• 1. 개발목표 ...3
• 1.1 개발목표 및 주요평가항목 ...3
• 1.2 1차년도 세부개발내용 및 추진계획 ...4
• 2. 사업추진현황 ...5
• 2.1 플라즈마 리액터 시험기 제작 ...5
• 2.2 플라즈마 리액터 특성평가 ...8
• 2.3 PI 필름 전처리용 플라즈마 리액터 모듈 설계/제작 ...17
• 3. 개발과정상의 문제점 ...19
• 4. 개발목표의 달성가능 여부 ...19
• 5. 향후 추진계획 ...19
• 사업비 사용 내역서 ...21