초록 ▼

본 과제에서 개발하고자 하는 3차원 잉크젯 토출 부피 측정기 Probe 모듈은 부피 측정 오차범위 0.7% 이하의 고정도로 측정 결과를 제공할 수 있는 잉크젯 측정 Probe를 개발하는 것이 1차년도 개발 계획임.
RGB Color Resist에 대한 대물렌즈의 영향을 최소화하면서, OEM 공급 부품으로서 시스템의 운용 안정성을 위해 FOV Zoom Turret, 제어기 GigaEthernet 방식의 초고속 카메라 고속 스캐닝부를 개발 탑재할 계획임. Probe 운영 S/W는 BM 분리알고리즘을 비롯하여 Probe 단위의 H/

본 과제에서 개발하고자 하는 3차원 잉크젯 토출 부피 측정기 Probe 모듈은 부피 측정 오차범위 0.7% 이하의 고정도로 측정 결과를 제공할 수 있는 잉크젯 측정 Probe를 개발하는 것이 1차년도 개발 계획임.
RGB Color Resist에 대한 대물렌즈의 영향을 최소화하면서, OEM 공급 부품으로서 시스템의 운용 안정성을 위해 FOV Zoom Turret, 제어기 GigaEthernet 방식의 초고속 카메라 고속 스캐닝부를 개발 탑재할 계획임. Probe 운영 S/W는 BM 분리알고리즘을 비롯하여 Probe 단위의 H/W 제어환경과 1 Shot 단위의 측정 파라미터 설정, 2차년도 추진과제인 잉크젯 측정시스템 통합시 필요한 Main System 과의 통신지원 환경을 개발할 계획임.
200 Frame/s의 고속스캔 Camera 의 적용한 FOV Zoom Turet 과 제어 Cotroller 를 개발 완료하였으며 운영S/W 에서는 FOV, PZT, LED 등의 H/W Control 환경을 개발하여 테스트 완료하였음. 또한 Server/Client의 User Interface를 구현하여, TCP/IP통신을 통하여, 측정데이터 및 2D/3D 형상의 분석이 가능하며, 문제 발생시 원인을 파악 할수 있도록 각각의 Log를 이용한 Debugging 환경을 구축하였음. 잉크젯의 토출량 측정 Data 는 Max Height, Avg Height 와 Volume을 각각 nm 및 picoliter 단위로 제공할 수 있도록 하였음. Probe 의 성능을 평가하기 위해 표준시편과 잉크젯 자재를 대상으로 실험한 결과 개발 목표치를 상회하는 결과를 확보하였음.

목차 Contents

• 중소기업기술개발지원사업 진도보고서 ...1
• 기술개발 추진현황 ...2
• 사업비 사용내역서 ...4
• 1. 주관기관 ...4
• 가. 비목별 총괄(’09년도 이후과제) ...4
• 나. 세부 집행내역 ...5
• 2. 공동개발기업(해당시 주관기관에 준하여 작성) ...6
• 3. 참여기업(해당시 주관기관에 준하여 작성) ...6
• 4. 위탁연구개발기관(해당시 주관기관에 준하여 작성) ...6
• 별첨4. 기술개발 내용 및 실험결과 ...7
• 1. 잉크젯 토출 부피 측정 Probe 사진 ...7
• 2. Probe 구성도 ...7
• 3 Probe Controller 사진 ...8
• 4. 잉크젯 측정 3D Map ...8
• 5. Probe 운영 Software UI ...8
• 6. 실험 결과 ...9