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보고서 상세정보

PFC를 내장한 고효율 Clean-Room FFU용 EC-SYSTEM 국산화 개발

과제명 PFC를 내장한 고효율 Clean-Room FFU용 EC-SYSTEM 국산화 개발
주관연구기관 (주)시스웍
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2009-07
과제시작년도 2007
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201000008093
과제고유번호 1425045835
사업명 기업협동형기술개발
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 비엘디씨.팬필터유닛.모터.크린룸.페회로.피드백제어.BLDC.FFU.MOTOR.CLEANROOM.CLOSE LOOP.FEED BACK CONTROL.
초록

현재 대부분의 반도체/LCD FAB은 크린룸 청정도를 유지하기 위해 사용되는 FFU(Fan Filter Unit)방식의 크린룸 시스템을 적용하고 있다. 과거 AC모터를 사용하는 FFU는 전력소모량이 많아 운전비용을 낮추려는 유저들의 ...