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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)시스웍 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-07 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201000008093 |
과제고유번호 | 1425045835 |
사업명 | 기업협동형기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 비엘디씨.팬필터유닛.모터.크린룸.페회로.피드백제어.BLDC.FFU.MOTOR.CLEANROOM.CLOSE LOOP.FEED BACK CONTROL. |
현재 대부분의 반도체/LCD FAB은 크린룸 청정도를 유지하기 위해 사용되는 FFU(Fan Filter Unit)방식의 크린룸 시스템을 적용하고 있다. 과거 AC모터를 사용하는 FFU는 전력소모량이 많아 운전비용을 낮추려는 유저들의 요구를 반영하지 못하고 있다.
이 문제점의 해결 방안으로 기존 AC 인덕션 모터보다 30~40% 에너지 효율이 좋고 기계적 마찰이 없어 반영구적인 수명을 갖는 BLDC 모터를 사용하는 방법이 제시되고 있지만 국내 BLDC 모터 및 제어기의 기술 수준은 아직 미약한 상태에 있어 독일의 ebm사로부터
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