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연합인증

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PFC를 내장한 고효율 Clean-Room FFU용 EC-SYSTEM 국산화 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)시스웍
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2009-07
과제시작연도 2007
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201000008093
과제고유번호 1425045835
사업명 기업협동형기술개발
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 비엘디씨.팬필터유닛.모터.크린룸.페회로.피드백제어.BLDC.FFU.MOTOR.CLEANROOM.CLOSE LOOP.FEED BACK CONTROL.

초록

현재 대부분의 반도체/LCD FAB은 크린룸 청정도를 유지하기 위해 사용되는 FFU(Fan Filter Unit)방식의 크린룸 시스템을 적용하고 있다. 과거 AC모터를 사용하는 FFU는 전력소모량이 많아 운전비용을 낮추려는 유저들의 요구를 반영하지 못하고 있다.
이 문제점의 해결 방안으로 기존 AC 인덕션 모터보다 30~40% 에너지 효율이 좋고 기계적 마찰이 없어 반영구적인 수명을 갖는 BLDC 모터를 사용하는 방법이 제시되고 있지만 국내 BLDC 모터 및 제어기의 기술 수준은 아직 미약한 상태에 있어 독일의 ebm사로부터

목차 Contents

  • 제출서 ...1
  • 표지 ...2
  • 제출문 ...3
  • 요약서(초록) ...4
  • 목차 ...5
  • 제1장 서론 ...6
  • 제1절 개발대상기술의 중요성 ...6
  • 제2절 국내외 관련기술의 현황 ...8
  • 제3절 기술개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ...10
  • 제2장 본론 ...11
  • 제1절 기술개발 목표 및 세부내용 ...11
  • 제2절 세부개발내용 및 방법 ...13
  • 제3절 실험데이타, 도면, 실물사진 ...34
  • 제3장 결론 ...60
  • 제1절 계획대비 실적 및 성과 ...60
  • 제2절 향후 개선 사항 ...61
  • 제3절 적용분야 및 기대효과 ...61

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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