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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)아바코 |
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보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-09 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
과제관리전문기관 | 한국에너지기술평가원 Korea Energy Technology Evaluation Institute |
등록번호 | TRKO201000008372 |
과제고유번호 | 1415102186 |
사업명 | 신재생에너지기술개발(기금) |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | Sputtering System.Thin-Film Solar Cell.Cylindrical Target.Resistivity.ZnO.TCO(Transparent Conducting Oxide).Multi Junction.High Efficiency Cathode.Transparency. |
- 주관기관은 박막형 태양전지 제조용 Sputtering System에 필요한 Buffer/Heating/Metal Process Zone 개발을 2차년도에 진행하도록 되어있음
- 또한 Planar 및 Rotatable Cathode 개발을 진행하여 Target 사용 효율을 확보하고, ZnO 및 Metal 성막 공정 개발을 진행하여 TCO의 투과율 향상과 금속막의 비저항 감소를 목표로 하고 있음
- 참여기업 테스는 ZnO계 투명전도막과 a-si:H layer간 계면 분석 및 소자 특성 평가를 통한 스퍼터링 공정 최적화를
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