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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이엔에프테크놀로지(주) |
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연구책임자 | 정진배 |
참여연구자 | 이상대 , 문재웅 , 신효섭 , 정현철 , 오동주 , 박영진 , 이명호 , 김민수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-05 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201000008964 |
과제고유번호 | 1415076947 |
사업명 | 지역전략산업진흥 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | TFT.LCD.배향막.세정제. |
●극성이 높은 배향막 도포를 위해 하부막질(ITO)의 개질에 필요한 적절한 pH를 9.5~10.5로 설정, 금속 배선에 영향이 낮으며 금속이온성분이 없는 알칼리성분으로 MEA를 선정.
●입자성 오염물의 제거 및 재부착을 막을 수 있는 빌더는 금속배선에 영향이 적고 세정력을 증대할 수 있는 Maleic acid를 선택, 유기성 오염물을 제거할 수 있는 저기포성 비이온계면활성제 및 수용성 유기용제를 선택하여 기존 사용 제품보다 월등한 세정력을 확보.
●알칼리 조성에서 불안정한 금속배선(알루미늄)에 대해서 초순수(D.I.Wa
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