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NTIS 바로가기주관연구기관 | 아주대학교 Ajou University |
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연구책임자 | 유재석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-04 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 과학기술부 |
연구관리전문기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO201000010089 |
과제고유번호 | 1355050597 |
사업명 | 특정기초연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 열물성.초미세패턴.소자제조 공정.비접촉식 측정기술.미세열전달.광열효과.위상차.박막.다층.Thermal Property.Nano/micro pattern.Device Fabrication.Non-contact measurement.Micro-scale Heat Transfer.Photothermal.Phase Difference.Thin Film.Multi-layer. |
본 연구의 목적은 다양한 재료의 열물성 측정을 위하여 초정밀 비접촉식 측정방법을 개발하고 이를 관련재료에 적용함에 있다. 측정은 금속 및 비금속 재료의 단층/다층 박막과 (1) 상온에서 고온에 이르는 온도범위에서 거시적 열물성과 미시적 열물성 data의 확보를 위해 실시하여 그 데이터를 취득 제공하고, (2) 다양한 소자제조공정에서 사용되는 초미세패턴을 지닌 단층/다층 박막의 열물성 변화 특성을 제공함으로써, (3) 초미세시스템의 설계기준을 제공함에 있다.
The final goal of this research is to develop the measurement methods for thermal properties of metal and non-metal thin films having single/multiple layers. The measurement is carried out to (2) obtain data on macro/macro-scale thermal properties ranging from room temperature to high temperature, (
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