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지능 로봇용 MEMS 기반 전자 후각센서 개발
MEMS based electronic nose for intelligent robot 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 서울대학교
Seoul National University
연구책임자 이정훈
참여연구자 송병륜 , 정승원 , 최준규 , 김윤호 , 홍주희 , 이성준 , 유재혁
보고서유형2단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2009-05
과제시작연도 2007
주관부처 산업자원부
과제관리전문기관 한국산업기술평가원
등록번호 TRKO201000011006
과제고유번호 1415079457
사업명 21세기프론티어기술개발(2005과기부 이관)
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 마이크로 기전 시스템.전자 후각 센서.가스 센서.폭발물 감지.마이크로 센서.MEMS.Electric Olfactory Sensor.Gas Sensor.Explosive detection.Micro Sensor.

초록

- 지능 로봇용 MEMS 기반 전자 후각 센싱 시스템 개발
- 박막 트랜스듀서 (TMT)와 전농축기(Preconcentrator)의 통합
- 박막 기반의 신개념 고감도 트랜스듀서 개발
- 최소 감지 농도: 약 50 ppb
- 응답 시간: 약 10초 미만
- 감지 가능 물질: 알콜, Benzene, o-Xylene, Toluene, DNT
- 집적된 트랜스듀서 개수: 10개
- 크기: 0.5 cm × 1 cm × 0.05 cm
- 전농축기 개발
- 탄소 나노튜브 기반의 소형 전농축기 개

목차 Contents

  • 보고서 초록 ...1
  • 기술개발 결과 및 활용계획서 ...2
  • 표지 ...7
  • 제출문 ...9
  • 핵심기술개발사업 보고서 초록 ...10
  • 목차 ...11
  • 제1장 서론 ...12
  • 제1절 연구 개발의 필요성 ...12
  • 제2절 현기술상태의 취약성 ...12
  • 제3절 한계 극복 방안 ...13
  • 제2장 초박막 트랜스듀서 (Thin Membrane Transducer, TMT) ...14
  • 제1절 초박막 트랜스듀서의 개념 및 특징 ...14
  • 제2절 Polydimethysiloxane(PDMS) 기반 박막형 트랜스듀서 개발 ...15
  • 제3절 Parylene 기반의 박막형 트랜스듀서 개발 ...18
  • 제4절 Silicon nitride 기반의 박막 트랜스듀서 개발 ...23
  • 제3장 전농축기(Preconcentrator) ...25
  • 제1절 탄소 나노 튜브(Carbon Nano Tube, CNT) ...25
  • 제2절 CVD 방법을 통한 CNT 기반 전농축기 ...26
  • 제3절 CNT on Nickel foam 기반의 전농축기 ...29
  • 제4장 요약 및 마무리 ...35
  • 제1절 결과 요약 ...35
  • 제2절 전망 및 향후 연구 계획 ...36

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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