1.탄소나노튜브 에미터 소자 및 대면적 공정 개발,충남대학교,김도진 아크 방전법을 이용하여, 고품질의 단일벽 탄소나노튜브 성장 기술 및 기판상에 균일하게 단일벽 탄소나노튜브 필름제작 공정을 개발하였다.단일벽 탄소나노튜브와 기판간의 전기적 물리적 접합 저항 및 접합 강도를 낮추기 위해 주석 접합층을 전극과 탄소나노튜브사이에 삽입하였으며,접합성이 우수한 단일벽 탄소나노튜브 필름을 taping 공정을 이용하여 탄소나노튜브를 수직배영하여,전계방출 특성을 강화하였으며,이에 따른 균일한 전계방출 특성을 갖는 전꼐방출 소자를 제작하였다.제
1.탄소나노튜브 에미터 소자 및 대면적 공정 개발,충남대학교,김도진 아크 방전법을 이용하여, 고품질의 단일벽 탄소나노튜브 성장 기술 및 기판상에 균일하게 단일벽 탄소나노튜브 필름제작 공정을 개발하였다.단일벽 탄소나노튜브와 기판간의 전기적 물리적 접합 저항 및 접합 강도를 낮추기 위해 주석 접합층을 전극과 탄소나노튜브사이에 삽입하였으며,접합성이 우수한 단일벽 탄소나노튜브 필름을 taping 공정을 이용하여 탄소나노튜브를 수직배영하여,전계방출 특성을 강화하였으며,이에 따른 균일한 전계방출 특성을 갖는 전꼐방출 소자를 제작하였다.제작된 탄소나노튜브 전계방출 소자의 균일성 및 발광 특성을 확인하였으며,총 44,000 cd/m²의 우수한 휘도를 보이는 탄소나노튜브 BLU를 제작하였다. 2.탄소나노튜브-구리 복합도금법을 이용한 전계방출 나노소재 개발,서울대학교,김용협 CNT를 이용한 신광원의 개발은 아직 초기단계로서 실용화를 위해서는 전계방출 모듈구조의 최적화 및 광량,연색성 등의 광특성 확보와 함께 제품화의 관건인 장수명,저전압 구동,동작 안정성등의 구현이 에미터 팁에서 요구되고 있는 시점임.전계방출특성 향상을 위해 높은 종횡비를 갖는 마이크로 구리 구조물을 이용하여 탄소나노구조물 성장 촉매입자분산을 이용한 탄소나노구조물의 성장,마찰전기를 이용한 전계방출특성 향상,LS(Langmuir-Schaefer)법 및 전기영동과 전해도금 방법을 이용하여 에미터를 제작,방전가공을 이용한 에미터의 균일도 행상,cap과grooves를 이용한 에미터의 균일성장,격벽이 적용된 3극형 광원의 음극개발,방전가공 패터닝을 통한 3극형 전계방출 에미터? 구성을 수행함.냉전자 방출원을 제작하는 캐소드 판 기술에 대한 연구를 진행하여 독자적인 기술을 특허 출원하여 현재 등록되어있는 특허를 회피하고 전계방출 성능을 향상시킬 수 있는 방법을 확보함. 3.SIC나노로드를 이용한 전계방출소자 개발,한국과학기술원,김재수 -대면적 (2~4인치)SIC 나노로드 기판제조를 위해 SIC 나노로드의 성장을 금속촉매의 증착과 열처리 및 SIC 나노로드의 성장을 one batch로 할 수 있도록 수직형 CVD장치를 설계 제작함. -설계제작된 수직형 CVD장치를 이용 3가지 종류의 단일전구체(HMDS,TMS,TPS)와 6가지 종류의 금속촉매 (Fe,Cr,Ni,Au,Mo,Ti)를 조합하여 직경 4인치 크기의 기판에 직경 20~30nm, 길이 100~500nm 크기의 다양한 SIC나노로드를 저온 성장시킴. -단일전구체의 종류와 여러 가지 금속촉매 간의 최적 조합조건을 구명하여 CVD법에 의한 Sic나노로드를 800~950${^{\circ}C}$범위의 저온에서 성장시켜 저온성장의 최적조건을 확립. -SIC나노로드를 70~90도 범위의 각도를 가지고 성장되었으며. 전계방출특성을 조사한 바 수직성장이 안된 SIC나노로드에 비해 약 0.1~0.34V/㎛의 turn-on voltage가 감소하는것이 확인함. -제조된 SIC 나노로드의 특성분석 및 전게방출 특성조사하여 FED의 전계방출소자로 활용가능성을 확인함.
Abstract▼
Carbon nanotube based field emission devices have higt performance in the field emission current density and stability. The LCD BLU can be a promising application of carbon nanotube based field emission devices,And triode type carbon nanotube based field emission devices can be applied to the X-sour
Carbon nanotube based field emission devices have higt performance in the field emission current density and stability. The LCD BLU can be a promising application of carbon nanotube based field emission devices,And triode type carbon nanotube based field emission devices can be applied to the X-source. These works can extend the applications of carbon nanotubes.
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