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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 장원석 |
참여연구자 | 김재구 , 조성학 |
보고서유형 | 2단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-05 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO201000012172 |
과제고유번호 | 1355049455 |
사업명 | 21세기프론티어연구개발사업 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 나노프로브.극미세 패터닝 툴.공초점현미경.편광변조.Nanoprobe.critical dimension patterning tool.confocal microscopy.modification of polarization. |
본 연구에서는 벌크소재와 광학적, 물리적 특성이 다른 나노소재의 특성 분석 및 나노 패터닝 등에 응용할 수 있는 critical dimension 나노프로브 패터닝 툴 기술을 개발 하였다. 이를 위하여 마이크로 스케일에서 나노스케일의 광학적 측정 방법과 나노프로브 기반의 탐침형 주사현미경을 결합한 복합 현미경 시스템을 개발하였다. 광학현미경 기술은 비접촉 이면서 분석 대상체의 직관적인 이해를 돕는데 매우 유용하다. 기존 광학계는 회절 한계에 의하여 나노스케일의 측정이 어려운 단점이있는데 매우 작은 광량으로 광학한계를 극복한 측정을
An optical microscope (OM) and an atomic force microscope (AFM) have a high chemical selectivity and a high spatial resolution, respectively. However, these microscopes also possess intrinsic limitations, namely, OM suffers a relatively low spatial resolution and AFM images lack the chemical informa
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