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보고서 상세정보

전자빔을 이용한 고기능성 나노전자소자의 형성 및 제어 연구

Systematic Fabrication and Control of High-Performance Nanoelectronic Using Electron Bean Irradiation

과제명 전자빔을 이용한 고기능성 나노전자소자의 형성 및 제어 연구
주관연구기관 홍익대학교
Hongik University
연구책임자 황진하
참여연구자 김정은, 이종원, 형은희
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2010-06
과제시작년도 2009
주관부처 교육과학기술부
사업 관리 기관 한국연구재단
등록번호 TRKO201000013191
과제고유번호 1345099119
사업명 원자력연구기반확충사업
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 전자빔.나노박막.고유전율 소재.나노전자소자.전기적 특성.고유전률 박막.Electron Beam.Nano Thin Films.High-k Materials.Nano-Electronic Devices.Electrical Properties.High-Permittivity Thin Films.
초록

$\bigcirc$ Metal-Insulator-Semiconductor구조의 나노 박막 평가 체계의 응용. 구체적으로
Capacitance-Voltage Measurement를 통한 비휘발성 메모리 특성의 ...

Abstract

The current research aims to developing simplified fabrication of nano-floating gate memory using electron beam irradiation. The m...

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