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간섭을 이용한 평판형 광학매질의 정밀한 굴절률 측정
Accurate measurement of index of refraction for optical interferometry wafers by using interferometry 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 부산대학교 산학협력단
연구책임자 차명식
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2010-04
과제시작연도 2009
주관부처 교육과학기술부
사업 관리 기관 한국연구재단
등록번호 TRKO201000013532
과제고유번호 1345105077
사업명 일반연구자지원
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 굴절률.간섭계.광학매질.분산.광 측정.표준시료.셀마이어 방정식.간섭무늬.표준물질.Index of refraction.Interferometer.Interference fringe.Optical metrology.Standard reference material.

초록

굴절률은 모든 광학 실험에 있어 가장 기본적인 정보이며, 특히 레이저의 발달과 함께 발전하는 광학분야에 필수적인 정보이다. 많은 연구자들에 의해 굴절률을 결정하는 방법들이 고안되었으나, 측정의 부정확성, 비싼 비용 등의 문제로 정확한 굴절률을 쉽게 측정하기가 어려웠다. 본 연구의 목적은 시중에 시판되는 평판형 시료에 대해 간단한 방법으로 정밀한 굴절률을 결정하는 방법을 고안하는 것이다. 우리가 이용한 간섭법은 두 가지 파장을 이용한 Fabry-Perot 간섭법으로 기존 간섭법이 가지고 있던 두께 측정의 정밀도 및 밀폐된 실험 환경

Abstract

Index of refraction (n) is a one of the fundamental properties of material in most optical experiments. Although a bunch of methods for measuring n have been developed, index measurement has been a difficult task due to the insufficient uncertainty and high cost related to the methods. The purpose o

목차 Contents

  • 표지 ...1
  • 목차 ...2
  • Ⅰ. 연구 계획 요약문 ...3
  • 1. 국문 요약문 ...3
  • Ⅱ. 연구 결과 요약문 ...4
  • 1. 국문 요약문 ...4
  • 2. 영문 요약문 ...5
  • Ⅲ. 연구내용 및 결과 ...6
  • 1. 연구개발과제의 개요 ...6
  • 2. 국내외 기술개발 현황 ...7
  • 3. 연구수행 내용 및 결과 ...11
  • 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ...25
  • 5. 연구결과의 활용 계획 ...26
  • 6. 연구과정에서 수집한 해외 과학기술 정보 ...26
  • 7. 주관연구책임자 대표적 연구 실적 ...28
  • 8. 참고 문헌 ...28
  • 9. 연구 성과 ...30
  • 10. 기타사항 ...33
  • 별첨1. 대표연구성과 ...34

참고문헌 (25)

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