최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 부산대학교 산학협력단 |
---|---|
연구책임자 | 조영래 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-04 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201000014441 |
과제고유번호 | 1345105102 |
사업명 | 일반연구자지원 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 극박막.나노전자소자.실시간 비저항측정.표면처리.유착두께.금속박막.플렉시블 전자소자.유기발광다이오드.태양전지.ultra-thin film.nanoscale electronics.in-situ resistivity measurement.surface treatment.coalescence thickness.metallic thin film.flexible electronic devices.OLED.solar cell. |
최근의 전자산업의 발전은 형상면에서 경박단소화로 급속하게 진행되고 있으며, 전자소자 내부에서의 배선재료(interconnection materials)로 사용되고 있는 알루미늄(Al) 박막의 두께 역시 얇아지고 있다. 두께가 20 nm 이하로 작은 극박막(ultra-thin film) 범위에서 박막의 두께 증가에 따라 전기가 흐르기 시작되는 박막의 최소두께로 정의되는 유착두께 (coalescence thickness)를 실시간적으로 측정하는 방법을 구현함으로써 임의의 금속박막과 기판(substrate)의 조합에 있어서 각각의 재료에
The changing trend of electronic devices is high density, small size and thin shape. An aluminium(Al) conducting layer of interconnection lines for the electronic devices is also changed in the direction of untra-thin and narrow width. As the thickness of the metallic layer such as Al or Cr layer de
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.