초록 ▼

Flexible 디바이스용 고열전도도를 가지는 nitride passivation 보호막 소재 개발
- 150oC 이하 저온 증착으로 목표로 nitride계 소재 박막 증착
- 보호 절연막으로서 높은 광투과도 및 roughness를 만족하는 flexible 박막 소재 개발 (transmittance: >80% ,roughness: <3nm 목표)
- 극저온에서의 결정화 거동 및 adhesion 기구 연구
Bending stress시 nitride막으로 보호된 flexible 전도성 막의 변화 연구
- B

Flexible 디바이스용 고열전도도를 가지는 nitride passivation 보호막 소재 개발
- 150oC 이하 저온 증착으로 목표로 nitride계 소재 박막 증착
- 보호 절연막으로서 높은 광투과도 및 roughness를 만족하는 flexible 박막 소재 개발 (transmittance: >80% ,roughness: <3nm 목표)
- 극저온에서의 결정화 거동 및 adhesion 기구 연구
Bending stress시 nitride막으로 보호된 flexible 전도성 막의 변화 연구
- Bending curvature 변화에 따른 passivation 보호막 및 전도성 막 (Mo/Al) 특성 변화 연구 (곡률 30% 변화 시 전기 전도도 +/-20% 변화 목표)
- Stress하에서의 증착조건 및 보호막 특성 연구 - 결정화 및 물리적 특성 연구
- Bending stress 변화에 따른 전도성막의 특성 변화 정량화 및 기구 연구

Abstract ▼

Development of nitride-based passivation layer for flexible devices
- Successful deposition of nitride thin films at low temperatures of 150oC
- Fabrication of clear and smooth surface thin film as a passivation layer (target transmittance: >80%, roughness: <3nm)
- Crystallization and adhes

Development of nitride-based passivation layer for flexible devices
- Successful deposition of nitride thin films at low temperatures of 150oC
- Fabrication of clear and smooth surface thin film as a passivation layer (target transmittance: >80%, roughness: <3nm)
- Crystallization and adhesion investigation for the low T-processed nitride thin films
Study on characteristics of conducting layer, which are protected with the nitride passivation, under various bending conditions.
- Property variations in passivation and conducting layers under different flexibility conditions. (target: electrical conductivity < 20% under a 30% curvature application)
- Characteristics of passivation layer prepared under bendign stress and process optimization

목차 Contents

• 최종보고서 ...1
• 목차 ...3
• I. 연구계획 요약문 ...4
• 1. 국문요약문 ...4
• II. 연구결과 요약문 ...5
• 1. 국문요약문 ...5
• 2. 영문요약문 ...6
• III. 연구내용 및 결과 ...7
• 1. 연구개발과제의 개요 ...7
• 2. 국내외 기술개발 현황 ...10
• 3. 연구수행 내용 및 결과 ...13
• 3.1 연구내용 ...13
• 3.2 연구결과 및 고찰 ...16
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ...29
• 4.1 사업내용 및 목표대비 달성도 ...29
• 4.2 관련분야에의 기여도 ...31
• 5. 연구결과의 활용계획 ...32
• 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ...33
• 7. 주관연구책임자 대표적 연구 실적 ...35
• 8. 참고 문헌 ...35
• 9. 연구 성과 ...37
• 10. 기타사항 ...37