최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술정보연구원 Korea Institute of Science and Technology Information |
---|---|
연구책임자 | 조영화 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2002-12 |
주관부처 | 정보통신부 |
사업 관리 기관 | 정보통신연구진흥원 Institute for Information Technology Advancement |
등록번호 | TRKO201000015658 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1980년대 중반 반도체 제조공정을 이용하여 미소기계요소 제반 및 전자회로와의 집적화를 가능케 한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술이 탄생하였다. 90년대 초반부터 미국ㆍ유럽ㆍ일본 등 기술선진국에서는 국가적인 차원에서의 관련 기술개발을 위해 대형 연구프로그램을 추진해오고 있다. 우리나라에서는 국가선도기술개발사업의 일환으로 G7 MEMS 기술개발사업을 추진하여 1995년 12월부터 2002년 9월까지 6년 10개월 동안 총725억(정부 380억, 민간 345억)원을 투입하여 MEMS 기술의 산학
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.