초록 ▼

$CO_{2}$/SOX/NOX 개별 센서의 제작 및 성능 확보를 바탕으로 중저가 계측기와의 접목을 위한 신호처리 및 설계 기술을 기반으로 한 기본 기능의 단위 센서 모듈을 개발하였다. 뿐만 아니라, 전체 이온 칩 제조공정에 대한 양산 공정 및 QC가 확보되어 향후 공기오염도 측정기 개발 성공 시 1∼2년 내에 양산화 시킬 수 있는 토대를 마련하였다.
마지막으로 $CO_{2}$ 개별 세서 모듈을 구현하기 위한 전자회로에 대한 설계 및 제작을 마쳐 실제 제품에 근접한 단계에서 실증 테스트를

$CO_{2}$/SOX/NOX 개별 센서의 제작 및 성능 확보를 바탕으로 중저가 계측기와의 접목을 위한 신호처리 및 설계 기술을 기반으로 한 기본 기능의 단위 센서 모듈을 개발하였다. 뿐만 아니라, 전체 이온 칩 제조공정에 대한 양산 공정 및 QC가 확보되어 향후 공기오염도 측정기 개발 성공 시 1∼2년 내에 양산화 시킬 수 있는 토대를 마련하였다.
마지막으로 $CO_{2}$ 개별 세서 모듈을 구현하기 위한 전자회로에 대한 설계 및 제작을 마쳐 실제 제품에 근접한 단계에서 실증 테스트를 할 수 있는 여건을 조성하였기 때문에 본 연구 결과는 이온 칩 개발의 초석이 되고 추후 실증화 사업과의 유기적인 연결고리를 이룰 수 있는 성공적인 결과이다.

목차 Contents

• 제출문 ... 1
• 보고서 초록 ... 2
• 목차 ... 4
• 표목차 ... 5
• 그림목차 ... 6
• 제1장 서론 ... 14
• 제1절. 연구개발의 중요성 및 필요성 ... 14
• 제2절. 연구개발의 국내외 현황 ... 17
• 제3절. 연구개발 대상 기술의 차별성 ... 19
• 제2장 연구개발의 목표 및 내용 ... 20
• 제1절. 연구의 최종목표 ... 20
• 제2절. 연도별 연구개발의 목표 및 평가방법 ... 20
• 제3절. 연도별 추진체계 ... 23
• 제3장 연구개발 결과 및 활용계획 ... 26
• 제1절. 연구개발 결과 및 토의 ... 26
• 1. 이온 칩 적용을 위한 CO2/SOx/NOx 개별 센서 개발 ... 26
• 2. 소형화 및 신호의 안정적 특성을 보이는 이온 칩 구조 설계 및 제작 ... 91
• 3. 이온 칩 특성 향상 연구 ... 94
• 4. 이온 칩 대량 합성 / 제작 및 QC 공정 확립 ... 132
• 5. 저소비전력화 구현을 위한 Micro-Self Heater 설계 및 제작 ... 134
• 6. 이온 칩 전용 전자회로 개발 ... 149
• 7. 공기 정화 시스템과의 유무선 통신을 위한 통신 모듈 개발과 현장 적용 테스트 ... 166
• 8. 이온 칩 생산 설비 구축(Pilot Plant) 및 공정 기술 개발 ... 171
• 9. 멀티 이온 칩 타겟 가스 감지 특성 평가 ... 184
• 10. 실내 공기 오염도 측정기 Engineering Sample 제작 ... 188
• 제2절. 연구개발 결과 요약 ... 190
• 제3절. 연도별 연구개발목표의 달성도 ... 192
• 제4절. 연도별 연구 성과 ... 197
• 제5절. 관련분야의 기술발전 기여도 ... 200
• 제6절. 연구개발 결과의 활용계획 ... 201
• 제4장 참고문헌 ... 208