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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전자부품연구원 Korean Electronics Technology Institute |
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연구책임자 | 이형만 |
참여연구자 | 김우경 , 손근식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2006-12 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100009630 |
과제고유번호 | 1420021721 |
사업명 | 산학연공동기술개발(균특) |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
LCD 또는 메모리 프루브 카드 검사용 접촉식 3차원 측정 요소 기술 개발
1) 검사항목 : 프루브 카드 니들(Needle)의 X, Y, Z 3축 위치 정보
2) 측정 범위 및 마스터 기판 : 30mm
3) Z축 높이(parallelism) 검사 범위 및 정밀도 : 범위 > 30
4) Z축 높이(parallelism) 동시측정 프루브 카드 니들 수량 : > 300 니들
5) Z축 높이
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